高端光刻机像质检测技术(上册)
出版时间:
2021-04
版次:
31
ISBN:
9787030673541
定价:
248.00
装帧:
其他
开本:
16开
纸张:
胶版纸
页数:
548页
8人买过
-
光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术,详细介绍了本团队提出的系列新技术,涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术,包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主,也介绍了投影物镜的离线像质检测技术,涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。
-
内容简介:
光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术,详细介绍了本团队提出的系列新技术,涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术,包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主,也介绍了投影物镜的离线像质检测技术,涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。
查看详情
-
全新
北京市朝阳区
平均发货14小时
成功完成率95.41%
-
全新
山东省济宁市
平均发货63小时
成功完成率80.73%
-
全新
北京市朝阳区
平均发货13小时
成功完成率96.1%
-
全新
四川省成都市
平均发货7小时
成功完成率98.88%
-
全新
北京市朝阳区
平均发货14小时
成功完成率95.41%
-
全新
北京市丰台区
平均发货27小时
成功完成率86.71%
-
全新
山东省潍坊市
平均发货15小时
成功完成率79.57%
-
全新
北京市通州区
平均发货9小时
成功完成率94.43%
-
全新
江苏省无锡市
平均发货21小时
成功完成率88.38%
-
全新
江苏省南京市
平均发货14小时
成功完成率83.22%
-
全新
湖北省武汉市
平均发货14小时
成功完成率93.64%
-
全新
江苏省无锡市
平均发货21小时
成功完成率88.38%
-
全新
江苏省南京市
平均发货14小时
成功完成率83.22%
-
全新
北京市通州区
平均发货9小时
成功完成率88.92%
-
全新
江苏省南京市
平均发货6小时
成功完成率98.34%
-
全新
江苏省南京市
平均发货7小时
成功完成率95.36%
-
全新
江苏省无锡市
平均发货13小时
成功完成率94.87%
-
全新
上海市闵行区
平均发货27小时
成功完成率83.17%
-
全新
北京市顺义区
平均发货9小时
成功完成率93.46%
-
全新
广东省广州市
平均发货16小时
成功完成率90.15%
-
全新
广东省广州市
平均发货17小时
成功完成率88.99%
-
全新
广东省广州市
平均发货23小时
成功完成率85.44%
-
九五品
北京市东城区
平均发货29小时
成功完成率84.31%
-
全新
江苏省南京市
平均发货7小时
成功完成率78.26%
-
全新
四川省成都市
平均发货10小时
成功完成率96.75%
-
全新
北京市通州区
平均发货18小时
成功完成率86.05%
-
全新
江苏省无锡市
平均发货15小时
成功完成率93.84%
-
全新
江苏省无锡市
平均发货8小时
成功完成率96.24%
-
全新
广东省广州市
平均发货28小时
成功完成率70.66%
-
全新
河北省保定市
平均发货14小时
成功完成率91.08%
-
全新
北京市朝阳区
平均发货9小时
成功完成率97.01%
-
全新
北京市西城区
平均发货14小时
成功完成率92.49%
-
全新
江苏省无锡市
平均发货9小时
成功完成率94.25%
-
全新
北京市房山区
平均发货13小时
成功完成率97.27%
-
全新
北京市顺义区
平均发货13小时
成功完成率94.34%
-
全新
天津市河东区
平均发货24小时
成功完成率89.86%
-
全新
四川省成都市
平均发货22小时
成功完成率89.06%
-
全新
广东省广州市
平均发货18小时
成功完成率86.71%
-
全新
河北省廊坊市
平均发货19小时
成功完成率88.6%
-
全新
北京市海淀区
平均发货15小时
成功完成率93.47%
-
全新
北京市西城区
平均发货32小时
成功完成率53.33%
-
全新
北京市朝阳区
平均发货13小时
成功完成率93.25%
-
全新
北京市通州区
平均发货36小时
成功完成率77.98%
-
全新
北京市通州区
平均发货43小时
成功完成率82.67%
-
全新
广东省广州市
平均发货7小时
成功完成率88.74%
-
全新
北京市海淀区
平均发货22小时
成功完成率85.37%
-
全新
北京市海淀区
平均发货22小时
成功完成率85.37%
-
全新
北京市通州区
平均发货28小时
成功完成率85.71%
-
全新
北京市丰台区
平均发货5小时
成功完成率97.69%
-
全新
北京市通州区
平均发货32小时
成功完成率79.55%