孔夫子旧书网-网上买书卖书、古旧书收藏品交易平台 孔夫子旧书网-网上买书卖书、古旧书收藏品交易平台 占位居中 孔夫子旧书网-网上买书卖书、古旧书收藏品交易平台
商品
拍卖区
在售
已售
搜索历史
搜索
高级搜索

微电子机械系统

微电子机械系统
分享
扫描下方二维码分享到微信
打开微信，点击右上角”+“，
使用”扫一扫“即可将网页分享到朋友圈。
作者: 著
出版社: 化学工业出版社
2006-03
版次: 1
ISBN: 9787502581589
定价: 28.00
装帧: 平装
开本: 16开
纸张: 胶版纸
页数: 194页
字数: 310千字
分类: 工程技术
6人买过
  • 　　本书介绍了微电子机械系统（MEMS）相关的基础知识、主要工艺和器件结构等方面内容，对该领域的热点研究问题进行了探讨。主要内容分为五个部分，首先讲述了MEMS的相关力学量测量方法，然后介绍了MEMS中的主要工艺，在此基础上，系统介绍了MEMS系统中的传感器，包括传感器的原理、结构和实现方法，另外对MEMS器件的使用方法和应用范围进行了讨论，最后阐述了MEMS系统仿真方面的内容。
    　　本书适合于高等院校微电子专业本科生或研究生教学参考使用，也可供从事MEMS领域研究的科技人员参考。 第1章MEMS系统简介
    1.1MEMS技术现状及前景
    1.1.1MlEMS的基本概念与发展历史
    1.1.2MEMS的应用
    1.1.3MEMS技术和器件的研究进展
    1.2MEMS器件及系统的研究进展
    1.3MEMS技术的应用前景

    第2章微机电系统(MEMS)相关力学知识及测量力学量的方法
    2.1弹性力学基础知识
    2.2微结构机械参数测量方法
    2.2.1简介
    2.2.2在线监测薄膜机械参数的方法列举
    2.2.3微机械材料特性检测
    参考文献

    第3章微机电系统(MEMS)主要工艺
    3.1体硅加工工艺
    3.1.1腐蚀工艺
    3.1.2湿法腐蚀
    3.1.3干法腐蚀
    3.2硅片键合工艺
    3.2.1简介
    3.2.2硅熔融键合(SFB)
    3.2.3阳极键合
    3.2.4低温键合
    3.2.5键合工艺应用举例
    3.3LIGA技术
    3.3.LIGA技术基本原理
    3.3.2活动结构制作原理
    3.3.3复杂的三维结构的制作原理
    3.3.4技术要求
    3.3.5LIGA技术研究现状
    3.3.6准LIGA技术
    3.3.7LIGA技术在工程中的应用
    参考文献

    第4章传感器部分
    4.1传感器的分类、构成与发展动向
    4.1.1基本概念
    4.1.2传感器的分类
    4.1.3传感器的构成
    4.2传感器材料
    4.2.1传感器敏感材料
    4.2.2仿生材料
    4.3硅电容式微传感器
    4.3.1加速度微传感器
    4.3.2压力微传感器
    4.4静电激振法
    4.4.1工作原理
    4.4.2谐振式传感器
    4.4.3热激励谐振式传感器
    4.4.4光激谐振式传感器
    4.4.5静电激励谐振式传感器
    4.5声表面波传感器
    4.5.1SAW传感器
    4.5.2声表面波器件内连技术
    4.5.3典型SAW传感器
    4.6薄膜传感器
    4.6.1薄膜
    4.6.2膜片
    4.6.3“扯带”试验
    4.6.4导热测试
    4.6.5金属薄膜电阻
    4.6.6薄膜磁阻元件
    4.6.7铁电薄膜元件
    4.7隧道传感器
    4.7.1隧道加速度计
    4.7.2微机械电子隧道红外探测器
    4.7.3微机械电子隧道磁强计
    4.7.4隧道传感器的发展方向
    4.8生物传感器
    4.8.1生物化学传感器
    4.8.2生物芯片

    第5章MEMS器件的应用
    5.1用于通信领域的MEMS器件
    5.1.1RFMEMS的概念
    5.1.2用于通信领域中的MEMS器件简介
    5.2用于生化医学领域的MEMS器件
    5.2.1医疗领域MEMS的发展趋势
    5.2.2生化领域MEMS的发展趋势
    5.2.3MEMS气敏传感器
    5.2.4生物微机电系统
    5.3用于光通信领域的MEMS器件
    5.3.1MEMS器件在光通信领域中的应用概述
    5.3.2光开关的工作原理
    5.3.3MEMS光开关分类
    5.4用于惯性测量用的MEMS器件
    5.4.1加速度计
    5.4.2陀螺仪
    5.5几种MEMS微执行器
    5.5.1MEMS微执行器简介
    5.5.2静电式微执行器
    5.5.3压电微执行器
    5.5.4磁致伸缩微执行器
    5.5.5电磁微执行器
    5.5.6形状记忆合金(SMA)微执行器
    5.5.7热执行器
    5.5.8电子流变式微执行器
    参考文献

    第6章MEMS器件的仿真和计算机辅助设计
    6.1概述
    6.1.1器件级仿真
    6.1.2加工及装配过程仿真
    6.1.3系统级仿真
    6.1.4相关技术展望
    6.2硅各向异性腐蚀工艺模拟
    6.2.1简介
    6.2.2硅各向异性腐蚀模型
    6.2.3硅各向异性腐蚀模拟软件
    6.2.4硅在KOH中各向异性腐蚀的物理模型
    6.2.5各向异性腐蚀表面粗糙度的“应力模型”
    6.2.6各向异性腐蚀模拟算法
    6.2.7各向异性腐蚀工艺模拟软件结构
    参考文献
  • 内容简介:
    　　本书介绍了微电子机械系统（MEMS）相关的基础知识、主要工艺和器件结构等方面内容，对该领域的热点研究问题进行了探讨。主要内容分为五个部分，首先讲述了MEMS的相关力学量测量方法，然后介绍了MEMS中的主要工艺，在此基础上，系统介绍了MEMS系统中的传感器，包括传感器的原理、结构和实现方法，另外对MEMS器件的使用方法和应用范围进行了讨论，最后阐述了MEMS系统仿真方面的内容。
    　　本书适合于高等院校微电子专业本科生或研究生教学参考使用，也可供从事MEMS领域研究的科技人员参考。
  • 目录:
    第1章MEMS系统简介
    1.1MEMS技术现状及前景
    1.1.1MlEMS的基本概念与发展历史
    1.1.2MEMS的应用
    1.1.3MEMS技术和器件的研究进展
    1.2MEMS器件及系统的研究进展
    1.3MEMS技术的应用前景

    第2章微机电系统(MEMS)相关力学知识及测量力学量的方法
    2.1弹性力学基础知识
    2.2微结构机械参数测量方法
    2.2.1简介
    2.2.2在线监测薄膜机械参数的方法列举
    2.2.3微机械材料特性检测
    参考文献

    第3章微机电系统(MEMS)主要工艺
    3.1体硅加工工艺
    3.1.1腐蚀工艺
    3.1.2湿法腐蚀
    3.1.3干法腐蚀
    3.2硅片键合工艺
    3.2.1简介
    3.2.2硅熔融键合(SFB)
    3.2.3阳极键合
    3.2.4低温键合
    3.2.5键合工艺应用举例
    3.3LIGA技术
    3.3.LIGA技术基本原理
    3.3.2活动结构制作原理
    3.3.3复杂的三维结构的制作原理
    3.3.4技术要求
    3.3.5LIGA技术研究现状
    3.3.6准LIGA技术
    3.3.7LIGA技术在工程中的应用
    参考文献

    第4章传感器部分
    4.1传感器的分类、构成与发展动向
    4.1.1基本概念
    4.1.2传感器的分类
    4.1.3传感器的构成
    4.2传感器材料
    4.2.1传感器敏感材料
    4.2.2仿生材料
    4.3硅电容式微传感器
    4.3.1加速度微传感器
    4.3.2压力微传感器
    4.4静电激振法
    4.4.1工作原理
    4.4.2谐振式传感器
    4.4.3热激励谐振式传感器
    4.4.4光激谐振式传感器
    4.4.5静电激励谐振式传感器
    4.5声表面波传感器
    4.5.1SAW传感器
    4.5.2声表面波器件内连技术
    4.5.3典型SAW传感器
    4.6薄膜传感器
    4.6.1薄膜
    4.6.2膜片
    4.6.3“扯带”试验
    4.6.4导热测试
    4.6.5金属薄膜电阻
    4.6.6薄膜磁阻元件
    4.6.7铁电薄膜元件
    4.7隧道传感器
    4.7.1隧道加速度计
    4.7.2微机械电子隧道红外探测器
    4.7.3微机械电子隧道磁强计
    4.7.4隧道传感器的发展方向
    4.8生物传感器
    4.8.1生物化学传感器
    4.8.2生物芯片

    第5章MEMS器件的应用
    5.1用于通信领域的MEMS器件
    5.1.1RFMEMS的概念
    5.1.2用于通信领域中的MEMS器件简介
    5.2用于生化医学领域的MEMS器件
    5.2.1医疗领域MEMS的发展趋势
    5.2.2生化领域MEMS的发展趋势
    5.2.3MEMS气敏传感器
    5.2.4生物微机电系统
    5.3用于光通信领域的MEMS器件
    5.3.1MEMS器件在光通信领域中的应用概述
    5.3.2光开关的工作原理
    5.3.3MEMS光开关分类
    5.4用于惯性测量用的MEMS器件
    5.4.1加速度计
    5.4.2陀螺仪
    5.5几种MEMS微执行器
    5.5.1MEMS微执行器简介
    5.5.2静电式微执行器
    5.5.3压电微执行器
    5.5.4磁致伸缩微执行器
    5.5.5电磁微执行器
    5.5.6形状记忆合金(SMA)微执行器
    5.5.7热执行器
    5.5.8电子流变式微执行器
    参考文献

    第6章MEMS器件的仿真和计算机辅助设计
    6.1概述
    6.1.1器件级仿真
    6.1.2加工及装配过程仿真
    6.1.3系统级仿真
    6.1.4相关技术展望
    6.2硅各向异性腐蚀工艺模拟
    6.2.1简介
    6.2.2硅各向异性腐蚀模型
    6.2.3硅各向异性腐蚀模拟软件
    6.2.4硅在KOH中各向异性腐蚀的物理模型
    6.2.5各向异性腐蚀表面粗糙度的“应力模型”
    6.2.6各向异性腐蚀模拟算法
    6.2.7各向异性腐蚀工艺模拟软件结构
    参考文献
查看详情
相关分类
工业技术 矿业工程 金属学与金属工艺 机械、仪表工业 能源与动力工程 原子能技术 电工技术 电子与通信 化学工业 轻工业、手工业 建筑 水利工程 汽车与交通运输 航空/航天
相关图书 / 更多
微电子机械系统
微电影创作教程（第2版）（）
黄秋生 何敬 黄琼瑶 廖曼郁
￥20.92 起
微电子机械系统
微电网规划与设计：简明指南（Microgrid Planning and Design:A Concise Guide）
[加拿大]哈桑·法翰吉（Hassan Farhangi）；[加拿大]盖扎·乔斯（Geza Joos）
￥24.78 起
微电子机械系统
微电影编剧与实践
牛绿林
￥19.18 起
微电子机械系统
微电子技术基础
徐金甫
￥15.00 起
微电子机械系统
微电子封装技术
周玉刚；张荣
￥28.98 起
微电子机械系统
微电子工艺与装备技术
夏洋；解婧；陈宝钦
￥35.00 起
微电子机械系统
微电子制造科学原理与工程技术（第四版）
[美]Stephen A. Campbell（斯蒂芬 · A. 坎贝尔）
￥63.60 起
微电子机械系统
微电网群分层调控技术
吕天光；艾芊；郝然
￥80.00 起
微电子机械系统
微电网储能技术原理及应用
贺达江；叶季蕾
￥15.58 起
微电子机械系统
微电网智能滑模容错控制技术
肖玲斐
￥41.69 起
微电子机械系统
微电影制作教程（吴小明）（第二版）
单光磊 主编；焦广霞 副主编；吴小明；徐红林
￥10.65 起
微电子机械系统
微电影创作教程（第二版）
康玉东 编；孙茜芸
￥4.69 起
您可能感兴趣 / 更多
微电子机械系统
硅基纳米电子学
姜岩峰 著
￥99.00 起
微电子机械系统
集成电路设计实验和实践
姜岩峰、张晓波 著
￥51.80 起
微电子机械系统
集成电路设计实例
姜岩峰 编
￥6.00 起
微电子机械系统
集成电路测试技术基础
姜岩峰、张晓波、杨兵 编
￥52.00 起
微电子机械系统
英汉微电子与光电子技术词典
姜岩峰 编
￥25.00 起
© 2002-2024 Kongfz.com 孔夫子旧书网 版权所有
关于孔网 联系我们 帮助中心 版权隐私 广告业务 工作机会 移动版 图书目录 图书标签 热搜书籍 作家大全