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微制造与纳米技术

微制造与纳米技术

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作者: N.P.Mahalik 编 , 蔡艳译 , 吴毅雄译

出版社: 机械工业出版社

出版时间: 2015-08

版次: 1

ISBN: 9787111503576

定价: 129.00

装帧: 平装

开本: 16开

纸张: 胶版纸

页数: 390页

字数: 527千字

丛书: 国际制造业先进技术译丛

分类: 工程技术

6人买过

《微制造与纳米技术》一书主要介绍了微机电系统（MEMS）、微光机电系统（MOEMS）、激光技术在微制造中的应用、平版印刷术、体和表面微加工、纳米修整、误差补偿、碳纳米管、微能源化学系统、燃料电池、空间推进微结构、生物传感器等内容。书中用大量的数据、公式、图表和应用实例阐述了微制造与纳米技术的概念、理论、原理、设计思路、工艺、方法以及应用和前景等。译丛序言
译者的话
前言
第1章导论
11背景介绍
12概述
121精密工程
122微铣削和微型钻孔
13微机电系统
14微电子制造方法
141体微加工
142表面微加工
15微型化仪器
16微机械电子
17纳米修整
18光变图像
19微能源和化学系统
110空间微推进
111电子束纳米印刷
112纳米技术
113碳纳米管及其结构
114分子逻辑门
115纳米尺度生物传感器
116C60及其衍生物的化学
交联
117燃料电池
118参考文献
第2章微机电系统与微光机电
系统原理21概述
22执行器的驱动原理
23制造工艺
24机械微机电系统
241机械传感器
242加速度计、悬臂式
传感器和电容测量
243扬声器
244陀螺仪
245机械执行器
25热微机电系统
251计温学
252数据存储应用
253微型加热器气体
传感器
254热执行器
26磁微机电系统
27微光机电系统
28空间光调制器
29数字微镜设备
210光栅光阀（GLV）
211参考文献
第3章微制造中的激光技术
31概述
32激光的产生
33激光的特性
331单色性
332方向性
333亮度
334相干性
335空间分布
336时间脉冲波形
34激光应用
35微加工中的激光技术
微制造与纳米技术目录351背景
352激光的吸收和反射
353应用技术基础
36参考文献
第4章激光干涉仪几何误差
软补偿41概述
42几何误差校正概述
421误差测量系统
422精度评价
43几何误差补偿方法
431几何误差查找表
432几何误差参数模型
44实验结果
441误差近似
442线性误差
443直线度误差
444角度误差
445垂直度误差
446评价
45小结
46参考文献
第5章体微加工中的蚀刻工艺
表征51概述
52体微加工的发展历史
53湿法体微加工（WBM）
54晶体学及其影响
55硅作为基板与结构材料
551硅作为基板
552硅作为结构材料
553应力与应变
554硅的热力学性质
56湿法蚀刻流程
561各向同性蚀刻剂
562反应现象
563各向同性蚀刻曲线
564掩膜
565依赖型掺杂蚀刻剂
57各向异性蚀刻
571各向异性蚀刻剂
572各向异性蚀刻剂
掩膜
58蚀刻控制：停止技术
581硼扩散蚀刻停止
582电化学蚀刻自停止
技术
583薄膜与绝缘硅蚀刻
停止
59体微加工中蚀刻存在的
问题
591基板面消耗
592角补偿
510小结
511参考文献
第6章表面微加工和晶片粘合
工艺的特点61概述
62光刻工艺
63表面微加工
64表面微加工工艺特点
641隔离层
642牺牲层
643结构材料
644选择性蚀刻
65特性
651附着力
652应力
653黏滞
66晶片键合
661阳极键合
662融化键合
67小结
68参考文献
第7章文件安全领域微加工：
光变图像71引言
72概述
73光变图像箔微结构
731防伪全息图
732KinegramTm技术
733CatpixTm电子束光刻微
结构
734结构稳定性
735PixelgramTM调色
概念
736基于ExelgramTM轨道
的光变图像微结构
737隐蔽图片显微图像
安全特征
738KinegramTM和ExelgramTM
的比较
739VectogramTM图像多路
复用技术
7310间隙刻槽单元
调制
74通用的光变图像微结构
741光变油墨技术
742衍射数据箔
743生物识别光变图像
技术
75光学图像单元编码表面纳米
制造
751微镜光变图像
752微镜光变图像的
起源
753微镜光变图像光学效应
总结
76小结
77参考文献
第8章纳米修整技术
81概述
82传统加工工艺
821研磨
822抛光
823珩磨
83高级修整工艺（AFPs）
831磨料流加工
（AFM）
832磁力研磨（MAF）
833磁流变加工
（MRF）
834磁流变磨料流修整
（MRAFF）
835磁悬浮抛光
（MFP）
836弹性喷射加工
（EEM）
837离子束加工
（IBM）
838化学机械抛光
（CMP)
84参考文献
第9章微纳米技术在空间微推进
系统中的应用91概述
92微型化航天器微推动的子
系统和设备
93推进系统
931固体推进剂
932冷气体
933胶体推进器
934热气体
935单组元和双组元推进
系统
936再生加压循环
937姿态调整与控制
系统
94冷气体微推进器的实现
941气体和流体动力学
942原型设计
95小结
96参考文献
第10章碳纳米管的制造和应用：
纳米技术基础101概述
102纳米技术和碳纳米管
的前景
103碳纳米管的研究进展
104碳纳米管的结构
和属性
105碳纳米管的制备
1051化学气相沉积
1052电弧放电
1053激光烧蚀
1054生长机理
1055碳纳米管提纯
106碳纳米管的应用
1061场效应管中碳纳米管
的电子输运
1062在计算机中的
应用
1063基于碳纳米管的纳米
器件在生物医学中的
应用
1064X射线仪
1065基于碳纳米管的纳米
机械执行器和人工
肌肉
1066燃料电池
1067膜电极组
1068基于CNTs的双极板
机械和电气强化
1069在碳纳米管中
储氢
107参考文献
第11章碳基纳米结构
111概述
112富勒烯的历史
113碳纳米管的结构
（CNTs）
1131Y形
1132双螺旋形
1133竹节形
1134分层结构
1135环形多壁碳
纳米管
1136圆锥端帽形多壁碳纳
米管
114富勒烯的结构
1141C48富勒烯结构
1142环形富勒烯
1143C60、C59、C58、C57
的结构
1144较小的富勒烯C50
115碳纳米球（CNBs）的
结构
116碳纳米纤维（CNFs）的
结构
1161六边形碳纳米
纤维
1162锥形碳纳米纤维
1163螺旋形碳纳米
纤维
117多孔碳
118碳纳米结构的性质
1181分子性质
1182电子性质
1183光学性质
1184力学性能
1185周期性
119合成
1191碳纳米管
1192富勒烯
1193碳纳米球
1194碳纳米纤维
1110碳纳米结构的应用
前景
11101能量存储
11102储氢
11103嵌锂
11104电化学超级电容
11105碳纳米管的分子电
子学
1111复合材料
1112小结
1113参考文献
第12章分子逻辑门
121概述
122逻辑门
123荧光分子逻辑电路
124组合逻辑电路
125可重构分子逻辑
126基于分子逻辑门
的吸收
127分子逻辑门：导电
128小结
129参考文献
第13章用于生物传感器的纳米
力学悬臂装置131概述
132原理
133静态变形法
134共振模式法
135热检测法
136微型品制造
1361硅基悬臂
1362压阻式集成悬臂
1363压电式集成悬臂
137测量和输出技术
1371光学法
1372干涉测量法
1373压阻法
1374电容法
1375压电法
138生物传感
1381DNA探测
1382蛋白质检测
1383细胞检测
ⅩⅧ微制造与纳米技术目录ⅩⅦ139小结
1310参考文献
第14章微型能源和化学系统
（MECS）和多尺
度制造141概述
142微能源和化学系统
（MECS）
1421MECS器件的物质与
热量传递
1422MECS技术的
应用
143MECS制造
1431困难与挑战
1432特征尺寸
1433微层压技术
144微层压技术的尺寸
控制
1441图形化对微通道阵列
性能的影响
1442理论
1443微通道加工
1444试验结果
145微通道阵列中的
翘曲源
1451分析
1452试验结果
146配准与粘接对微通道阵列
性能的影响
147微通道阵列的几何
约束
148微层压技术的经济
价值
149参考文献
第15章雕塑薄膜
151概述
152雕塑薄膜的生长
1521实验和现象
1522计算机模拟
153光学特性
1531理论
1532特征行为
154应用
1541光学
1542化学
1543电学
1544生物学
155小结
156参考文献
第16章电子束蚀刻技术与纳米装
配——精密化学
工程161概述
162电子束辐射
1621聚合物材料
1622分子材料
163自组装单层膜
164结语和展望
165参考文献
第17章倏逝近场纳米光刻
技术171概述
172发展历史
173ENFOL技术原理
174掩膜的制作和要求
175图案形成
1751曝光条件
1752光刻胶要求
1753克服衍射极限
176图案转移
1761减法图案转移
1762加法图案转移
177模拟
1771模拟方法和模型
1772强度分布
1773场深度（DOF）
1774边界强化带来的曝光
差异
178表面等离子体纳米
光刻
1781倏逝干涉光刻技术
（EIL）
1782平面透镜光刻技术
（PLL）
1783表面等离子体增
强接触式光刻
（SPECL）
179小结
1710参考文献
第18章纳米技术在燃料电池上
的应用181现状与需求
182多相催化中的纳米
粒子
183碳载体铂催化剂的氧化
电解还原反应
184碳纳米管载体催化剂
185小结
186参考文献
第19章碳纳米管与胺衍生：一种
无溶剂技术191概述
192实验设计
193氧化单壁碳纳米管管
端羧基功能团的直
接酰胺化
194原始多壁碳纳米管端帽和
壁缺陷直接胺加成
195小结
196参考文献
第20章C60薄膜中化学交联
201概述
202实验
ⅩⅩ微制造与纳米技术目录ⅩⅨ2021分析仪器
2022富勒烯薄膜沉积
2023与(1,8)辛二胺
反应
203结果与讨论
2031(1,8)辛二胺衍生C60
粉末
2032(1,8)辛二胺衍生
C60薄膜
204小结
205参考文献
内容简介:
《微制造与纳米技术》一书主要介绍了微机电系统（MEMS）、微光机电系统（MOEMS）、激光技术在微制造中的应用、平版印刷术、体和表面微加工、纳米修整、误差补偿、碳纳米管、微能源化学系统、燃料电池、空间推进微结构、生物传感器等内容。书中用大量的数据、公式、图表和应用实例阐述了微制造与纳米技术的概念、理论、原理、设计思路、工艺、方法以及应用和前景等。
目录:
译丛序言
译者的话
前言
第1章导论
11背景介绍
12概述
121精密工程
122微铣削和微型钻孔
13微机电系统
14微电子制造方法
141体微加工
142表面微加工
15微型化仪器
16微机械电子
17纳米修整
18光变图像
19微能源和化学系统
110空间微推进
111电子束纳米印刷
112纳米技术
113碳纳米管及其结构
114分子逻辑门
115纳米尺度生物传感器
116C60及其衍生物的化学
交联
117燃料电池
118参考文献
第2章微机电系统与微光机电
系统原理21概述
22执行器的驱动原理
23制造工艺
24机械微机电系统
241机械传感器
242加速度计、悬臂式
传感器和电容测量
243扬声器
244陀螺仪
245机械执行器
25热微机电系统
251计温学
252数据存储应用
253微型加热器气体
传感器
254热执行器
26磁微机电系统
27微光机电系统
28空间光调制器
29数字微镜设备
210光栅光阀（GLV）
211参考文献
第3章微制造中的激光技术
31概述
32激光的产生
33激光的特性
331单色性
332方向性
333亮度
334相干性
335空间分布
336时间脉冲波形
34激光应用
35微加工中的激光技术
微制造与纳米技术目录351背景
352激光的吸收和反射
353应用技术基础
36参考文献
第4章激光干涉仪几何误差
软补偿41概述
42几何误差校正概述
421误差测量系统
422精度评价
43几何误差补偿方法
431几何误差查找表
432几何误差参数模型
44实验结果
441误差近似
442线性误差
443直线度误差
444角度误差
445垂直度误差
446评价
45小结
46参考文献
第5章体微加工中的蚀刻工艺
表征51概述
52体微加工的发展历史
53湿法体微加工（WBM）
54晶体学及其影响
55硅作为基板与结构材料
551硅作为基板
552硅作为结构材料
553应力与应变
554硅的热力学性质
56湿法蚀刻流程
561各向同性蚀刻剂
562反应现象
563各向同性蚀刻曲线
564掩膜
565依赖型掺杂蚀刻剂
57各向异性蚀刻
571各向异性蚀刻剂
572各向异性蚀刻剂
掩膜
58蚀刻控制：停止技术
581硼扩散蚀刻停止
582电化学蚀刻自停止
技术
583薄膜与绝缘硅蚀刻
停止
59体微加工中蚀刻存在的
问题
591基板面消耗
592角补偿
510小结
511参考文献
第6章表面微加工和晶片粘合
工艺的特点61概述
62光刻工艺
63表面微加工
64表面微加工工艺特点
641隔离层
642牺牲层
643结构材料
644选择性蚀刻
65特性
651附着力
652应力
653黏滞
66晶片键合
661阳极键合
662融化键合
67小结
68参考文献
第7章文件安全领域微加工：
光变图像71引言
72概述
73光变图像箔微结构
731防伪全息图
732KinegramTm技术
733CatpixTm电子束光刻微
结构
734结构稳定性
735PixelgramTM调色
概念
736基于ExelgramTM轨道
的光变图像微结构
737隐蔽图片显微图像
安全特征
738KinegramTM和ExelgramTM
的比较
739VectogramTM图像多路
复用技术
7310间隙刻槽单元
调制
74通用的光变图像微结构
741光变油墨技术
742衍射数据箔
743生物识别光变图像
技术
75光学图像单元编码表面纳米
制造
751微镜光变图像
752微镜光变图像的
起源
753微镜光变图像光学效应
总结
76小结
77参考文献
第8章纳米修整技术
81概述
82传统加工工艺
821研磨
822抛光
823珩磨
83高级修整工艺（AFPs）
831磨料流加工
（AFM）
832磁力研磨（MAF）
833磁流变加工
（MRF）
834磁流变磨料流修整
（MRAFF）
835磁悬浮抛光
（MFP）
836弹性喷射加工
（EEM）
837离子束加工
（IBM）
838化学机械抛光
（CMP)
84参考文献
第9章微纳米技术在空间微推进
系统中的应用91概述
92微型化航天器微推动的子
系统和设备
93推进系统
931固体推进剂
932冷气体
933胶体推进器
934热气体
935单组元和双组元推进
系统
936再生加压循环
937姿态调整与控制
系统
94冷气体微推进器的实现
941气体和流体动力学
942原型设计
95小结
96参考文献
第10章碳纳米管的制造和应用：
纳米技术基础101概述
102纳米技术和碳纳米管
的前景
103碳纳米管的研究进展
104碳纳米管的结构
和属性
105碳纳米管的制备
1051化学气相沉积
1052电弧放电
1053激光烧蚀
1054生长机理
1055碳纳米管提纯
106碳纳米管的应用
1061场效应管中碳纳米管
的电子输运
1062在计算机中的
应用
1063基于碳纳米管的纳米
器件在生物医学中的
应用
1064X射线仪
1065基于碳纳米管的纳米
机械执行器和人工
肌肉
1066燃料电池
1067膜电极组
1068基于CNTs的双极板
机械和电气强化
1069在碳纳米管中
储氢
107参考文献
第11章碳基纳米结构
111概述
112富勒烯的历史
113碳纳米管的结构
（CNTs）
1131Y形
1132双螺旋形
1133竹节形
1134分层结构
1135环形多壁碳
纳米管
1136圆锥端帽形多壁碳纳
米管
114富勒烯的结构
1141C48富勒烯结构
1142环形富勒烯
1143C60、C59、C58、C57
的结构
1144较小的富勒烯C50
115碳纳米球（CNBs）的
结构
116碳纳米纤维（CNFs）的
结构
1161六边形碳纳米
纤维
1162锥形碳纳米纤维
1163螺旋形碳纳米
纤维
117多孔碳
118碳纳米结构的性质
1181分子性质
1182电子性质
1183光学性质
1184力学性能
1185周期性
119合成
1191碳纳米管
1192富勒烯
1193碳纳米球
1194碳纳米纤维
1110碳纳米结构的应用
前景
11101能量存储
11102储氢
11103嵌锂
11104电化学超级电容
11105碳纳米管的分子电
子学
1111复合材料
1112小结
1113参考文献
第12章分子逻辑门
121概述
122逻辑门
123荧光分子逻辑电路
124组合逻辑电路
125可重构分子逻辑
126基于分子逻辑门
的吸收
127分子逻辑门：导电
128小结
129参考文献
第13章用于生物传感器的纳米
力学悬臂装置131概述
132原理
133静态变形法
134共振模式法
135热检测法
136微型品制造
1361硅基悬臂
1362压阻式集成悬臂
1363压电式集成悬臂
137测量和输出技术
1371光学法
1372干涉测量法
1373压阻法
1374电容法
1375压电法
138生物传感
1381DNA探测
1382蛋白质检测
1383细胞检测
ⅩⅧ微制造与纳米技术目录ⅩⅦ139小结
1310参考文献
第14章微型能源和化学系统
（MECS）和多尺
度制造141概述
142微能源和化学系统
（MECS）
1421MECS器件的物质与
热量传递
1422MECS技术的
应用
143MECS制造
1431困难与挑战
1432特征尺寸
1433微层压技术
144微层压技术的尺寸
控制
1441图形化对微通道阵列
性能的影响
1442理论
1443微通道加工
1444试验结果
145微通道阵列中的
翘曲源
1451分析
1452试验结果
146配准与粘接对微通道阵列
性能的影响
147微通道阵列的几何
约束
148微层压技术的经济
价值
149参考文献
第15章雕塑薄膜
151概述
152雕塑薄膜的生长
1521实验和现象
1522计算机模拟
153光学特性
1531理论
1532特征行为
154应用
1541光学
1542化学
1543电学
1544生物学
155小结
156参考文献
第16章电子束蚀刻技术与纳米装
配——精密化学
工程161概述
162电子束辐射
1621聚合物材料
1622分子材料
163自组装单层膜
164结语和展望
165参考文献
第17章倏逝近场纳米光刻
技术171概述
172发展历史
173ENFOL技术原理
174掩膜的制作和要求
175图案形成
1751曝光条件
1752光刻胶要求
1753克服衍射极限
176图案转移
1761减法图案转移
1762加法图案转移
177模拟
1771模拟方法和模型
1772强度分布
1773场深度（DOF）
1774边界强化带来的曝光
差异
178表面等离子体纳米
光刻
1781倏逝干涉光刻技术
（EIL）
1782平面透镜光刻技术
（PLL）
1783表面等离子体增
强接触式光刻
（SPECL）
179小结
1710参考文献
第18章纳米技术在燃料电池上
的应用181现状与需求
182多相催化中的纳米
粒子
183碳载体铂催化剂的氧化
电解还原反应
184碳纳米管载体催化剂
185小结
186参考文献
第19章碳纳米管与胺衍生：一种
无溶剂技术191概述
192实验设计
193氧化单壁碳纳米管管
端羧基功能团的直
接酰胺化
194原始多壁碳纳米管端帽和
壁缺陷直接胺加成
195小结
196参考文献
第20章C60薄膜中化学交联
201概述
202实验
ⅩⅩ微制造与纳米技术目录ⅩⅨ2021分析仪器
2022富勒烯薄膜沉积
2023与(1,8)辛二胺
反应
203结果与讨论
2031(1,8)辛二胺衍生C60
粉末
2032(1,8)辛二胺衍生
C60薄膜
204小结
205参考文献

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