基于MEMS技术的热梯度器件研究
出版时间:
2019-04
版次:
1
ISBN:
9787517072997
定价:
59.00
装帧:
平装
开本:
其他
页数:
192页
字数:
160千字
1人买过
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本书提出了一种基于MEMS技术的热梯度器件，设计了一种新型梯度加热器，通过理论分析和数值模拟对器件的温度性能进行优化，并完成温度性能测试。
本书可供相关专业领域研究人员参考阅读，也可作为相关学院研究生以上师生的参考资料。
章绪论
1.1MEMS技术
1.1.1MEMS的概念
1.1.2MEMS的制造工艺
1.1.3MEMS的本质特征
1.1.4MEMS的应用
1.2微流控芯片
1.2.1微流控芯片的概念
1.2.2微流控芯片的应用
1.3微流控芯片的研究现状
1.3.1微流控芯片的衬底材料和加工技术
1.3.2微流控芯片的加热和冷却技术
1.3.3温度梯度与热梯度芯片
1.4研究内容和结构
1.4.1研究内容
1.4.2结构
第2章热梯度器件的设计
……
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内容简介:
本书提出了一种基于MEMS技术的热梯度器件，设计了一种新型梯度加热器，通过理论分析和数值模拟对器件的温度性能进行优化，并完成温度性能测试。
本书可供相关专业领域研究人员参考阅读，也可作为相关学院研究生以上师生的参考资料。
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目录:
章绪论
1.1MEMS技术
1.1.1MEMS的概念
1.1.2MEMS的制造工艺
1.1.3MEMS的本质特征
1.1.4MEMS的应用
1.2微流控芯片
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