磁控溅射制备氮化铜薄膜的结构与性能
出版时间:
2019-04
版次:
1
ISBN:
9787517074397
定价:
57.00
装帧:
平装
开本:
其他
12人买过
-
磁控溅射是一种通用、成熟的薄膜制备工艺技术,其制备工艺可调剂参数较多,通过精细控制能够实现对薄膜结构的有效调控。本书研究了薄膜的工艺参数、薄膜结构与性能等之间的内在关系,探讨了薄膜的电子输运、光学带隙、热稳定性的有关物理量的变化机制。全书结构合理,条理清晰,内容丰富新颖,可供相关工程技术人员参考使用。 前言
章 绪论
1.1 薄膜简介
1.2 薄膜的性质
1.3 薄膜制备技术
1.4 薄膜的表征技术
第2章 氮化铜薄膜研究现状
2.1 Cu3N薄膜的制备技术
2.2 Cu3N薄膜的晶体结构
2.3 电学和光学性能
2.4 热、力学性能和耐腐蚀性
2.5 Cu3N薄膜的应用
第3章 氮化铜薄膜的制备
3.1 磁控溅射技术
3.2 JGP-450a型多功能磁控溅射系统
3.3 氮化铜薄膜的制备
第4章 氮化铜薄膜的结构研究
4.1 薄膜的结构分析
4.2 薄膜的表面形貌
4.3 薄膜的组分
4.4 薄膜的晶格常数
第5章 氮化铜的性能研究
5.1 薄膜的电学性能
5.2 薄膜的光学性能
5.3 薄膜的热稳定性研究
第6章 氮化铜的性原理研究
6.1 概述
6.2 计算方法及过程
6.3 氮化铜的电子结构计算结果
结论与展望
参考文献
附录
-
内容简介:
磁控溅射是一种通用、成熟的薄膜制备工艺技术,其制备工艺可调剂参数较多,通过精细控制能够实现对薄膜结构的有效调控。本书研究了薄膜的工艺参数、薄膜结构与性能等之间的内在关系,探讨了薄膜的电子输运、光学带隙、热稳定性的有关物理量的变化机制。全书结构合理,条理清晰,内容丰富新颖,可供相关工程技术人员参考使用。
-
目录:
前言
章 绪论
1.1 薄膜简介
1.2 薄膜的性质
1.3 薄膜制备技术
1.4 薄膜的表征技术
第2章 氮化铜薄膜研究现状
2.1 Cu3N薄膜的制备技术
2.2 Cu3N薄膜的晶体结构
2.3 电学和光学性能
2.4 热、力学性能和耐腐蚀性
2.5 Cu3N薄膜的应用
第3章 氮化铜薄膜的制备
3.1 磁控溅射技术
3.2 JGP-450a型多功能磁控溅射系统
3.3 氮化铜薄膜的制备
第4章 氮化铜薄膜的结构研究
4.1 薄膜的结构分析
4.2 薄膜的表面形貌
4.3 薄膜的组分
4.4 薄膜的晶格常数
第5章 氮化铜的性能研究
5.1 薄膜的电学性能
5.2 薄膜的光学性能
5.3 薄膜的热稳定性研究
第6章 氮化铜的性原理研究
6.1 概述
6.2 计算方法及过程
6.3 氮化铜的电子结构计算结果
结论与展望
参考文献
附录
查看详情
-
全新
北京市通州区
平均发货13小时
成功完成率96.04%
-
全新
山东省泰安市
平均发货9小时
成功完成率95.55%
-
全新
河北省保定市
平均发货34小时
成功完成率82.68%
-
全新
河北省保定市
平均发货18小时
成功完成率80.7%
-
全新
北京市房山区
平均发货27小时
成功完成率87.82%
-
全新
-
全新
河北省保定市
平均发货28小时
成功完成率92.27%
-
全新
河北省保定市
平均发货19小时
成功完成率83.66%
-
全新
河北省廊坊市
平均发货20小时
成功完成率86.51%
-
全新
河北省保定市
平均发货28小时
成功完成率90.94%
-
全新
山东省泰安市
平均发货15小时
成功完成率93.82%
-
全新
北京市通州区
平均发货10小时
成功完成率94.23%
-
全新
上海市黄浦区
平均发货10小时
成功完成率94.18%
-
全新
河北省保定市
平均发货19小时
成功完成率88.64%
-
全新
河北省保定市
平均发货26小时
成功完成率87.74%
-
全新
山东省泰安市
平均发货7小时
成功完成率90.88%
-
全新
北京市通州区
平均发货9小时
成功完成率89.78%
-
全新
河北省保定市
平均发货22小时
成功完成率82.71%
-
九五品
江苏省南京市
平均发货28小时
成功完成率85.13%
-
全新
河北省保定市
平均发货23小时
成功完成率83.9%
-
全新
山东省泰安市
平均发货10小时
成功完成率91.13%
-
全新
河北省保定市
平均发货27小时
成功完成率84.58%
-
全新
-
全新
河北省保定市
平均发货32小时
成功完成率63.64%
-
全新
-
全新
河北省保定市
平均发货15小时
成功完成率85.31%
-
九品
-
九五品
江苏省无锡市
平均发货17小时
成功完成率80.78%
-
全新
河北省保定市
平均发货28小时
成功完成率81.69%
-
全新
北京市东城区
平均发货26小时
成功完成率82.42%
-
全新
河北省保定市
平均发货24小时
成功完成率90.45%
-
全新
-
全新
北京市海淀区
平均发货10小时
成功完成率93.53%
-
全新
北京市丰台区
平均发货7小时
成功完成率91.05%
-
全新
山东省泰安市
平均发货8小时
成功完成率88.7%
-
全新
山东省泰安市
平均发货22小时
成功完成率86.17%
-
九五品
河北省保定市
平均发货16小时
成功完成率85.97%
-
全新
北京市朝阳区
平均发货15小时
成功完成率95.26%
-
全新
广东省广州市
平均发货9小时
成功完成率87.1%
-
九五品
河北省保定市
平均发货16小时
成功完成率91.39%
-
全新
河北省保定市
平均发货14小时
成功完成率80.66%
-
全新
河北省保定市
平均发货32小时
成功完成率57.14%