硅集成电路工艺基础（第二版）
出版时间:
2014-05
版次:
2
ISBN:
9787301241097
定价:
52.00
装帧:
平装
开本:
16开
纸张:
胶版纸
页数:
408页
191人买过
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本书是《硅集成电路工艺基础》的第二版教材，作者在第一版的基础上系统的讲述了硅集成电路制造的基础工艺，加深了工艺物理基础和基本原理的介绍。增加了工艺集成例子的介绍。 关旭东，北京大学信息学院微电子系职称：教授研究方向：硅集成电路的设计和规划主要作品：硅集成电路工艺基础。 第一章硅晶体和非晶体
第二章氧化
第三章扩散
第四章离子注入
第五章物理气相淀积
第六章化学气相淀积
第七章外延
第八章光刻工艺
第九章金属化与多层互联
第十章工艺集成
第十一章薄膜晶体管制造工艺
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内容简介:
本书是《硅集成电路工艺基础》的第二版教材，作者在第一版的基础上系统的讲述了硅集成电路制造的基础工艺，加深了工艺物理基础和基本原理的介绍。增加了工艺集成例子的介绍。
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作者简介:
关旭东，北京大学信息学院微电子系职称：教授研究方向：硅集成电路的设计和规划主要作品：硅集成电路工艺基础。
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目录:
第一章硅晶体和非晶体
第二章氧化
第三章扩散
第四章离子注入
第五章物理气相淀积
第六章化学气相淀积
第七章外延
第八章光刻工艺
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