LIGAanditsApplications(AdvancedMicroandNanosystems)

LIGAanditsApplications(AdvancedMicroandNanosystems)
分享
扫描下方二维码分享到微信
打开微信,点击右上角”+“,
使用”扫一扫“即可将网页分享到朋友圈。
出版社: Wiley-VCH
2009-01
ISBN: 9783527316984
定价: 2242.50
装帧: 精装
页数: 490页
正文语种: 英语
  • Covering technological aspects as well as the suitability and applicability of various kinds of uses, this handbook shows optimization strategies, techniques and assembly pathways to achieve the combination of complex, even three-dimensional structures with simple manufacturing steps. The authors provide information on markets, commercialization opportunities and aspects of mass or large-scale production as well as design tools, experimental techniques, novel materials, and ideas for future improvements. Not only do they weigh up cost versus quantity, they also consider CMOS and LIGA strategies.
    Of interest to physicists, electronics engineers, materials scientists, institutional and industrial libraries as well as graduate students of the relevant disciplines. Volker Saile is the director of the Institute for Microstructure Technology (IMT) at Karlsruhe Technical University, Germany. ((...))
    Ulrike Wallrabe is Professor for Microactuators at IMTEK Freiburg, Germany, since 2003. She studied physics at the University of Karlsruhe and went on to obtain her Ph.D. on microturbines and micromotors at the Institute for Microstructure Technology at the Research Centre in Karlsruhe (FZK) in 1992. At IMT, she subsequently dealt with microactuators and their application in medical technology. From 1999 on, she turned to microoptics and developed components for optical metrology, telecommunications and for optical sensors such as fibre connectors, optical switches, distance sensors and spectrometers, generally produced with the LIGA method.
    Her research interests include exploration of new actuator materials, actuator fabrication techniques, and combining microactuators and microoptics.
    Osamu Tabata is Professor at the Department of Mechanical Engineering at Kyoto University, Japan. He performed industrial research at Toyota Central Research and Development Laboratories in Aichi from 1981 to 1996. He then joined the Department of Mechanical Engineering of Ritsumeikan University in Shiga, Japan, and spent Guest Professorships at IMTEK Freiburg, Germany, and at ETH Zurich, Switzerland. In 2003, Japan. He is currently engaged in the research of micro/nano processes, the LIGA process, MEMS and micro/nano system synthetic engineering (SENS). He was honored with the Science News Award in 1987, Presentation Paper Award in 1992, and received the R&D 100 Award in 1993 and 1998.
    Jan G. Korvink holds a Chair for Microsystem Technology at Albert Ludwig University in Freiburg, Germany, where he runs the laboratory for microsystem simulation. Prior to that, he worked at the Physical Electronics Lab of the ETH Zurich, where he built up and led the microsystem modeling effort. MEMS simulation programs that were developed by him and his group were successfully commercialized. He has co-authored more than 100 papers in scientific journals and conference digests, as well as numerous book chapters and a book on semiconductors for engineers.
    His research interests cover the modeling and simulation of microsystems and the low-cost fabrication of polymer-based MEMS.
  • 内容简介:
    Covering technological aspects as well as the suitability and applicability of various kinds of uses, this handbook shows optimization strategies, techniques and assembly pathways to achieve the combination of complex, even three-dimensional structures with simple manufacturing steps. The authors provide information on markets, commercialization opportunities and aspects of mass or large-scale production as well as design tools, experimental techniques, novel materials, and ideas for future improvements. Not only do they weigh up cost versus quantity, they also consider CMOS and LIGA strategies.
    Of interest to physicists, electronics engineers, materials scientists, institutional and industrial libraries as well as graduate students of the relevant disciplines.
  • 作者简介:
    Volker Saile is the director of the Institute for Microstructure Technology (IMT) at Karlsruhe Technical University, Germany. ((...))
    Ulrike Wallrabe is Professor for Microactuators at IMTEK Freiburg, Germany, since 2003. She studied physics at the University of Karlsruhe and went on to obtain her Ph.D. on microturbines and micromotors at the Institute for Microstructure Technology at the Research Centre in Karlsruhe (FZK) in 1992. At IMT, she subsequently dealt with microactuators and their application in medical technology. From 1999 on, she turned to microoptics and developed components for optical metrology, telecommunications and for optical sensors such as fibre connectors, optical switches, distance sensors and spectrometers, generally produced with the LIGA method.
    Her research interests include exploration of new actuator materials, actuator fabrication techniques, and combining microactuators and microoptics.
    Osamu Tabata is Professor at the Department of Mechanical Engineering at Kyoto University, Japan. He performed industrial research at Toyota Central Research and Development Laboratories in Aichi from 1981 to 1996. He then joined the Department of Mechanical Engineering of Ritsumeikan University in Shiga, Japan, and spent Guest Professorships at IMTEK Freiburg, Germany, and at ETH Zurich, Switzerland. In 2003, Japan. He is currently engaged in the research of micro/nano processes, the LIGA process, MEMS and micro/nano system synthetic engineering (SENS). He was honored with the Science News Award in 1987, Presentation Paper Award in 1992, and received the R&D 100 Award in 1993 and 1998.
    Jan G. Korvink holds a Chair for Microsystem Technology at Albert Ludwig University in Freiburg, Germany, where he runs the laboratory for microsystem simulation. Prior to that, he worked at the Physical Electronics Lab of the ETH Zurich, where he built up and led the microsystem modeling effort. MEMS simulation programs that were developed by him and his group were successfully commercialized. He has co-authored more than 100 papers in scientific journals and conference digests, as well as numerous book chapters and a book on semiconductors for engineers.
    His research interests cover the modeling and simulation of microsystems and the low-cost fabrication of polymer-based MEMS.
查看详情
相关图书 / 更多
LIGAanditsApplications(AdvancedMicroandNanosystems)
寻琴者
郭强生 著
LIGAanditsApplications(AdvancedMicroandNanosystems)
一日三秋
刘震云
LIGAanditsApplications(AdvancedMicroandNanosystems)
喜智与悲智:杨绛的文学世界(杨绛诞辰110周年纪念)
吕约 著
LIGAanditsApplications(AdvancedMicroandNanosystems)
鹤见俊辅传
黑川创 著;一頁folio 出品
LIGAanditsApplications(AdvancedMicroandNanosystems)
唐代铨选与文学(精装)
王勋成 著
LIGAanditsApplications(AdvancedMicroandNanosystems)
玉山丹池(石听泉、卜正民、王立群、梅新林、徐永明等海内外学者联袂推荐)
Hargett 著;冯乃希 译;[美]何瞻(James;M
LIGAanditsApplications(AdvancedMicroandNanosystems)
爪牙:清代县衙的书吏与差役
[美]白德瑞 著;尤陈俊、赖骏楠 译
LIGAanditsApplications(AdvancedMicroandNanosystems)
宋代商业史研究
龙登高 主编;庄景辉 译者;[日]斯波义信 总
LIGAanditsApplications(AdvancedMicroandNanosystems)
追寻生命史
余新忠 著
LIGAanditsApplications(AdvancedMicroandNanosystems)
哲学从这里开始:漫步城邦 边聊边学
任今可 译 者;[意]卢恰诺·德克雷申佐
LIGAanditsApplications(AdvancedMicroandNanosystems)
本杰明行纪(丝路历史名著丛书)
[西]拉比·本杰明(Rabbi Benjamin) 著;李大伟 译
LIGAanditsApplications(AdvancedMicroandNanosystems)
古典植物园:传统文化中的草木之美(自然感悟丛书)
汤欢
您可能感兴趣 / 更多
LIGAanditsApplications(AdvancedMicroandNanosystems)
精灵薇卡:奥伯龙之怒
Olivier 著;[法]托马斯·戴、Thomas、Day、[法]奥利维尔·莱德罗、黄可以 译
LIGAanditsApplications(AdvancedMicroandNanosystems)
Devotions The Selected Poems of Mary Oliver
Oliver, Mary
LIGAanditsApplications(AdvancedMicroandNanosystems)
How Traditions Live and Die
Olivier Morin
LIGAanditsApplications(AdvancedMicroandNanosystems)
What's the Opposite?
Oliver Jeffers
LIGAanditsApplications(AdvancedMicroandNanosystems)
Gideon:It's Play Time,Not Naptime!(Gossie & Friends)
Olivier Dunrea 著
LIGAanditsApplications(AdvancedMicroandNanosystems)
Pandemonium
Oliver, Lauren
LIGAanditsApplications(AdvancedMicroandNanosystems)
Contented Dementia[平装]
Oliver James 著
LIGAanditsApplications(AdvancedMicroandNanosystems)
Eating the Sun: How Plants Power the Planet
Oliver Morton 著
LIGAanditsApplications(AdvancedMicroandNanosystems)
Economic Growth: A Unified Approach[经济增长:一个统一的途径]
Olivier de la Grandville(奥利维亚·德·拉·格兰维尔) 著
LIGAanditsApplications(AdvancedMicroandNanosystems)
The Untold History of the United States
Oliver Stone、Peter Kuznick 著
LIGAanditsApplications(AdvancedMicroandNanosystems)
The Greatest Gift I Could Offer
Olivia M Cloud 著
LIGAanditsApplications(AdvancedMicroandNanosystems)
Gideon and Otto (Gossie & Friends)
Olivier Dunrea 著