电子材料制造技术实验教程
出版时间:
2019-06
版次:
1
ISBN:
9787030576507
定价:
46.00
装帧:
平装
开本:
16开
页数:
149页
字数:
210千字
正文语种:
简体中文
10人买过
-
《电子材料制造技术实验教程》分上、下两篇,上篇为电子薄膜制备与测试分析,介绍真空技术、镀膜工艺、薄膜生长及其表征技术等基础知识,具体阐述了直流磁控溅射镀膜、真空热阻蒸发制膜、电子束蒸发制膜、射频磁控溅射制膜、薄膜的表征及分析等六个基础实验的内容,并设计了基于薄膜材料的热电偶制作与标定、类电容器结构薄膜器件制作和薄膜光电探测器制作等三个综合实验项目;下篇为电子陶瓷制备与测试分析,介绍粉料制备、成型、烧结与电子陶瓷材料结构表征等基础知识,详细阐述电子基板、介质移相器、热敏电阻、功率电感、微波器件等用电子陶瓷材料制备与测试六个综合实验项目的设计原理、实验方法与步骤、测试分析等内容。 目录
上篇 电子薄膜制备与测试分析
第1章 电子薄膜基础知识 3
1.1 电子薄膜制备简介 3
1.2 真空技术基础 4
1.2.1 真空的定义 4
1.2.2 真空的获得 5
1.2.3 真空的测量 9
1.3 溅射镀膜工艺 10
1.3.1 直流磁控溅射原理 11
1.3.2 射频磁控溅射原理 12
1.4 蒸发镀膜工艺 13
1.4.1 真空蒸发镀膜原理 13
1.4.2 电阻式加热蒸发镀膜 14
1.4.3 电子束蒸发镀膜 15
1.4.4 脉冲激光沉积 16
1.4.5 分子束外延 17
1.4.6 其他蒸发镀膜方法 17
1.5 薄膜的生长过程 18
1.5.1 薄膜的生长模式 18
1.5.2 薄膜的形核与生长 19
1.5.3 连续膜的形成 20
1.5.4 薄膜的生长过程与薄膜结构 20
1.5.5 薄膜中的应力和薄膜的附着力 23
1.6 薄膜材料的测量与表征 24
1.6.1 薄膜厚度的测量 24
1.6.2 薄膜结构的表征方法 25
1.6.3 薄膜成分的表征方法 28
第2章 电子薄膜制备与分析测试实验 29
2.1 直流磁控溅射镀膜实验 29
2.1.1 实验目的 29
2.1.2 实验原理 29
2.1.3 实验设备及器材 30
2.1.4 实验步骤 31
2.1.5 样品测试及实验数据处理 32
2.1.6 实验思考题 32
2.2 真空热阻蒸发镀膜实验 32
2.2.1 实验目的 32
2.2.2 实验原理 33
2.2.3 实验设备及器材 34
2.2.4 实验步骤 35
2.2.5 样品测试及实验数据处理 36
2.2.6 实验思考题 37
2.3 电子束蒸发镀膜实验 37
2.3.1 实验目的 37
2.3.2 实验原理 37
2.3.3 实验设备及器材 38
2.3.4 实验方法和步骤 39
2.3.5 样品测试及实验数据处理 40
2.3.6 实验思考题 40
2.4 射频磁控溅射镀膜实验 40
2.4.1 实验目的 40
2.4.2 实验原理 41
2.4.3 实验设备及器材 41
2.4.4 实验步骤 42
2.4.5 样品测试及实验数据处理 43
2.4.6 实验思考题 43
2.5 薄膜的微结构及形貌分析实验 43
2.5.1 实验目的 43
2.5.2 实验原理 44
2.5.3 实验设备及器材 45
2.5.4 实验步骤 45
2.5.5 样品测试及实验数据处理 47
2.6 薄膜厚度及电输运性能测试 47
2.6.1 实验目的 47
2.6.2 实验原理 48
2.6.3 实验设备与器材 50
2.6.4 实验步骤 51
2.6.5 样品测试及实验数据处理 57
2.6.6 实验思考题 57
2.7 薄膜热电偶的制作与标定综合实验 57
2.7.1 实验目的 57
2.7.2 实验原理 57
2.7.3 实验设备与器材 58
2.7.4 实验步骤 58
2.7.5 样品测试及实验数据处理 59
2.7.6 实验思考题 60
2.8 类电容器结构薄膜器件的制作实验 60
2.8.1 实验目的 60
2.8.2 实验原理 60
2.8.3 实验设备与器材 62
2.8.4 实验步骤 62
2.8.5 样品测试及实验数据处理 64
2.8.6 实验思考题 65
2.9 薄膜光电探测器的制作与性能测试实验 65
2.9.1 实验目的 65
2.9.2 实验原理 66
2.9.3 实验设备与器材 72
2.9.4 实验步骤 72
2.9.5 样品测试及实验数据处理 73
2.9.6 实验思考题 74
参考文献 74
下篇 电子陶瓷制备与测试分析
第3章 电子陶瓷基础知识 77
3.1 电子陶瓷制备简介 77
3.2 粉料性能表征 79
3.2.1 颗粒尺寸 79
3.2.2 化学成分和含水量 80
3.2.3 粉料的密度 80
3.2.4 粉料的流动性 80
3.3 粉料的混磨 80
3.3.1 球磨 81
3.3.2 砂磨 81
3.4 粉料制备方法 82
3.4.1 高温固相反应法 82
3.4.2 沉淀法 84
3.4.3 水热合成法 85
3.4.4 喷雾热分解法 86
3.4.5 溶胶-凝胶法 86
3.4.6 自蔓延合成法 87
3.4.7 溶胶凝胶自燃烧法 87
3.5 成型技术 88
3.5.1 坯体特性 88
3.5.2 成型方法 90
3.6 烧结技术 91
3.6.1 烧结过程 91
3.6.2 烧结过程的控制 94
3.6.3 烧结种类 96
3.7 电子陶瓷材料结构表征 97
3.7.1 物相分析 97
3.7.2 显微结构分析 99
第4章 电子陶瓷制备与测试分析实验 101
4.1 电子基板用Al2O3陶瓷材料的制备 101
4.1.1 实验目的 101
4.1.2 实验原理 101
4.1.3 实验设备与器材 104
4.1.4 实验步骤 105
4.1.5 样品测试及实验数据处理 106
4.1.6 实验思考题 107
4.2 介质移相器用BZT陶瓷材料的制备 107
4.2.1 实验目的 107
4.2.2 实验原理 107
4.2.3 实验设备与器材 109
4.2.4 实验步骤 110
4.2.5 样品测试及实验数据处理 111
4.2.6 实验思考题 112
4.3 PTC热敏电阻的制备 112
4.3.1 实验目的 112
4.3.2 实验原理 113
4.3.3 实验设备与器材 117
4.3.4 实验步骤 118
4.3.5 样品测试及实验数据处理 118
4.3.6 实验思考题 120
4.4 LTCC微波陶瓷材料制备 120
4.4.1 实验目的 120
4.4.2 实验原理 120
4.4.3 实验设备与器材 123
4.4.4 实验步骤 124
4.4.5 样品测试及实验数据处理 125
4.4.6 实验思考题 126
4.5 片式功率电感器用抗直流偏置镍锌铁氧体材料的制备 126
4.5.1 实验目的 126
4.5.2 实验原理 127
4.5.3 实验设备与器材 131
4.5.4 实验步骤 132
4.5.5 样品测试及实验数据处理 134
4.5.6 实验思考题 135
4.6 LTCF旋磁铁氧体材料的制备 135
4.6.1 实验目的 135
4.6.2 实验原理 136
4.6.3 实验设备与器材 138
4.6.4 实验步骤 139
4.6.5 样品测试及实验数据处理 141
4.6.6 实验思考题 142
参考文献 142
附录1 行星式球磨机的简要使用说明 144
附录2 硅钼棒高温电炉简要操作说明 146
附录3 TH2828 LCR数字电桥简易使用说明 148
-
内容简介:
《电子材料制造技术实验教程》分上、下两篇,上篇为电子薄膜制备与测试分析,介绍真空技术、镀膜工艺、薄膜生长及其表征技术等基础知识,具体阐述了直流磁控溅射镀膜、真空热阻蒸发制膜、电子束蒸发制膜、射频磁控溅射制膜、薄膜的表征及分析等六个基础实验的内容,并设计了基于薄膜材料的热电偶制作与标定、类电容器结构薄膜器件制作和薄膜光电探测器制作等三个综合实验项目;下篇为电子陶瓷制备与测试分析,介绍粉料制备、成型、烧结与电子陶瓷材料结构表征等基础知识,详细阐述电子基板、介质移相器、热敏电阻、功率电感、微波器件等用电子陶瓷材料制备与测试六个综合实验项目的设计原理、实验方法与步骤、测试分析等内容。
-
目录:
目录
上篇 电子薄膜制备与测试分析
第1章 电子薄膜基础知识 3
1.1 电子薄膜制备简介 3
1.2 真空技术基础 4
1.2.1 真空的定义 4
1.2.2 真空的获得 5
1.2.3 真空的测量 9
1.3 溅射镀膜工艺 10
1.3.1 直流磁控溅射原理 11
1.3.2 射频磁控溅射原理 12
1.4 蒸发镀膜工艺 13
1.4.1 真空蒸发镀膜原理 13
1.4.2 电阻式加热蒸发镀膜 14
1.4.3 电子束蒸发镀膜 15
1.4.4 脉冲激光沉积 16
1.4.5 分子束外延 17
1.4.6 其他蒸发镀膜方法 17
1.5 薄膜的生长过程 18
1.5.1 薄膜的生长模式 18
1.5.2 薄膜的形核与生长 19
1.5.3 连续膜的形成 20
1.5.4 薄膜的生长过程与薄膜结构 20
1.5.5 薄膜中的应力和薄膜的附着力 23
1.6 薄膜材料的测量与表征 24
1.6.1 薄膜厚度的测量 24
1.6.2 薄膜结构的表征方法 25
1.6.3 薄膜成分的表征方法 28
第2章 电子薄膜制备与分析测试实验 29
2.1 直流磁控溅射镀膜实验 29
2.1.1 实验目的 29
2.1.2 实验原理 29
2.1.3 实验设备及器材 30
2.1.4 实验步骤 31
2.1.5 样品测试及实验数据处理 32
2.1.6 实验思考题 32
2.2 真空热阻蒸发镀膜实验 32
2.2.1 实验目的 32
2.2.2 实验原理 33
2.2.3 实验设备及器材 34
2.2.4 实验步骤 35
2.2.5 样品测试及实验数据处理 36
2.2.6 实验思考题 37
2.3 电子束蒸发镀膜实验 37
2.3.1 实验目的 37
2.3.2 实验原理 37
2.3.3 实验设备及器材 38
2.3.4 实验方法和步骤 39
2.3.5 样品测试及实验数据处理 40
2.3.6 实验思考题 40
2.4 射频磁控溅射镀膜实验 40
2.4.1 实验目的 40
2.4.2 实验原理 41
2.4.3 实验设备及器材 41
2.4.4 实验步骤 42
2.4.5 样品测试及实验数据处理 43
2.4.6 实验思考题 43
2.5 薄膜的微结构及形貌分析实验 43
2.5.1 实验目的 43
2.5.2 实验原理 44
2.5.3 实验设备及器材 45
2.5.4 实验步骤 45
2.5.5 样品测试及实验数据处理 47
2.6 薄膜厚度及电输运性能测试 47
2.6.1 实验目的 47
2.6.2 实验原理 48
2.6.3 实验设备与器材 50
2.6.4 实验步骤 51
2.6.5 样品测试及实验数据处理 57
2.6.6 实验思考题 57
2.7 薄膜热电偶的制作与标定综合实验 57
2.7.1 实验目的 57
2.7.2 实验原理 57
2.7.3 实验设备与器材 58
2.7.4 实验步骤 58
2.7.5 样品测试及实验数据处理 59
2.7.6 实验思考题 60
2.8 类电容器结构薄膜器件的制作实验 60
2.8.1 实验目的 60
2.8.2 实验原理 60
2.8.3 实验设备与器材 62
2.8.4 实验步骤 62
2.8.5 样品测试及实验数据处理 64
2.8.6 实验思考题 65
2.9 薄膜光电探测器的制作与性能测试实验 65
2.9.1 实验目的 65
2.9.2 实验原理 66
2.9.3 实验设备与器材 72
2.9.4 实验步骤 72
2.9.5 样品测试及实验数据处理 73
2.9.6 实验思考题 74
参考文献 74
下篇 电子陶瓷制备与测试分析
第3章 电子陶瓷基础知识 77
3.1 电子陶瓷制备简介 77
3.2 粉料性能表征 79
3.2.1 颗粒尺寸 79
3.2.2 化学成分和含水量 80
3.2.3 粉料的密度 80
3.2.4 粉料的流动性 80
3.3 粉料的混磨 80
3.3.1 球磨 81
3.3.2 砂磨 81
3.4 粉料制备方法 82
3.4.1 高温固相反应法 82
3.4.2 沉淀法 84
3.4.3 水热合成法 85
3.4.4 喷雾热分解法 86
3.4.5 溶胶-凝胶法 86
3.4.6 自蔓延合成法 87
3.4.7 溶胶凝胶自燃烧法 87
3.5 成型技术 88
3.5.1 坯体特性 88
3.5.2 成型方法 90
3.6 烧结技术 91
3.6.1 烧结过程 91
3.6.2 烧结过程的控制 94
3.6.3 烧结种类 96
3.7 电子陶瓷材料结构表征 97
3.7.1 物相分析 97
3.7.2 显微结构分析 99
第4章 电子陶瓷制备与测试分析实验 101
4.1 电子基板用Al2O3陶瓷材料的制备 101
4.1.1 实验目的 101
4.1.2 实验原理 101
4.1.3 实验设备与器材 104
4.1.4 实验步骤 105
4.1.5 样品测试及实验数据处理 106
4.1.6 实验思考题 107
4.2 介质移相器用BZT陶瓷材料的制备 107
4.2.1 实验目的 107
4.2.2 实验原理 107
4.2.3 实验设备与器材 109
4.2.4 实验步骤 110
4.2.5 样品测试及实验数据处理 111
4.2.6 实验思考题 112
4.3 PTC热敏电阻的制备 112
4.3.1 实验目的 112
4.3.2 实验原理 113
4.3.3 实验设备与器材 117
4.3.4 实验步骤 118
4.3.5 样品测试及实验数据处理 118
4.3.6 实验思考题 120
4.4 LTCC微波陶瓷材料制备 120
4.4.1 实验目的 120
4.4.2 实验原理 120
4.4.3 实验设备与器材 123
4.4.4 实验步骤 124
4.4.5 样品测试及实验数据处理 125
4.4.6 实验思考题 126
4.5 片式功率电感器用抗直流偏置镍锌铁氧体材料的制备 126
4.5.1 实验目的 126
4.5.2 实验原理 127
4.5.3 实验设备与器材 131
4.5.4 实验步骤 132
4.5.5 样品测试及实验数据处理 134
4.5.6 实验思考题 135
4.6 LTCF旋磁铁氧体材料的制备 135
4.6.1 实验目的 135
4.6.2 实验原理 136
4.6.3 实验设备与器材 138
4.6.4 实验步骤 139
4.6.5 样品测试及实验数据处理 141
4.6.6 实验思考题 142
参考文献 142
附录1 行星式球磨机的简要使用说明 144
附录2 硅钼棒高温电炉简要操作说明 146
附录3 TH2828 LCR数字电桥简易使用说明 148
查看详情
-
全新
天津市西青区
平均发货14小时
成功完成率90.27%
-
全新
江苏省苏州市
平均发货9小时
成功完成率95.6%
-
全新
广东省广州市
平均发货24小时
成功完成率79.85%
-
九品
北京市昌平区
平均发货23小时
成功完成率86.41%
-
全新
河北省保定市
平均发货21小时
成功完成率83.64%
-
全新
北京市丰台区
平均发货23小时
成功完成率88.43%
-
全新
江苏省无锡市
平均发货10小时
成功完成率93.42%
-
全新
河北省保定市
平均发货15小时
成功完成率82.12%
-
九五品
北京市东城区
平均发货32小时
成功完成率83.47%
-
全新
北京市海淀区
平均发货14小时
成功完成率90.67%
-
全新
四川省成都市
平均发货24小时
成功完成率86.17%
-
全新
河北省保定市
平均发货17小时
成功完成率82.86%
-
全新
河北省廊坊市
平均发货20小时
成功完成率85.62%
-
全新
河北省廊坊市
平均发货14小时
成功完成率90.27%
-
全新
山东省潍坊市
平均发货11小时
成功完成率84.81%
-
全新
广东省广州市
平均发货7小时
成功完成率88.56%
-
全新
江苏省南京市
平均发货7小时
成功完成率98.16%
-
全新
广东省广州市
平均发货7小时
成功完成率88.56%
-
全新
江苏省无锡市
平均发货18小时
成功完成率94.5%
-
全新
江苏省南京市
平均发货15小时
成功完成率83.08%
-
全新
北京市朝阳区
平均发货9小时
成功完成率96.85%
-
八五品
浙江省杭州市
平均发货11小时
成功完成率93.26%
-
全新
河北省保定市
平均发货15小时
成功完成率91.27%
-
全新
北京市西城区
平均发货28小时
成功完成率90.58%
-
全新
天津市河东区
平均发货28小时
成功完成率90.53%
-
全新
广东省广州市
平均发货20小时
成功完成率86.4%
-
全新
广东省广州市
平均发货17小时
成功完成率87.92%
-
全新
北京市朝阳区
平均发货13小时
成功完成率93.44%
-
全新
河北省保定市
平均发货15小时
成功完成率82.04%
-
全新
广东省广州市
平均发货7小时
成功完成率89.44%
-
全新
河北省保定市
平均发货14小时
成功完成率82.28%
-
全新
河北省保定市
平均发货11小时
成功完成率90.48%
-
全新
江西省九江市
平均发货11小时
成功完成率80.95%
-
全新
天津市西青区
平均发货10小时
成功完成率91.14%
-
全新
河北省保定市
平均发货7小时
成功完成率79.12%
-
九五品
四川省成都市
平均发货8小时
成功完成率95.27%
-
全新
江苏省无锡市
平均发货8小时
成功完成率95.88%