用于恶劣环境的碳化硅微机电系统

用于恶劣环境的碳化硅微机电系统

分享

作者: [英] 张著 , 王晓浩译 , 唐飞译 , 王文弢译

出版社: 科学出版社

出版时间: 2010-03

版次: 1

ISBN: 9787030268624

定价: 35.00

装帧: 平装

开本: 16开

纸张: 胶版纸

页数: 121页

字数: 154千字

正文语种: 简体中文

丛书: 微纳技术著作丛书

分类: 工程技术

7人买过

碳化硅以其优异的温度特性、电迁移特性、机械特性等，越来越被微电子和微机电系统研究领域所关注，不断有新的研究群体介入这一材料及其应用的研究。《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》是目前译者见到的唯一一本系统论述碳化硅微机电系统的著作，作者是来自英国、美国从事碳化硅微机电系统研究的几位学者，他们系统综述了碳化硅生长、加工、接触、腐蚀和应用等环节的技术和现状，汇聚了作者大量的经验和智慧。
《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》可供从事微电子、微机械研究的科研人员参考阅读，也可以作为研究生专业课程教材或参考书目。译者序
前言
第1章SiCMEMS概述
1.简介
2.SiC材料性能
3.制作微机电（MEM）器件
4.表面改性
5.SiCMEMS的频率调谐
6.MEMS的机械测试
7.应用举例
8.小结
参考文献

第2章SiCMEMS沉积技术
1.概述
2.与SiC沉积相关的问题
3.APCVD
4.PE（2VD
5.LPCVD
6.LPCⅧSiC薄膜的掺杂
7.其他沉积方法
8.小结
参考文献

第3章与SiC接触开发相关的问题综述
1.概述
2.热稳定性
3.p型SiC的欧姆接触
4.使用Ni的欧姆接触
5.肖特基接触缺陷的影响
6.小结
参考文献

第4章SiC的干法刻蚀
1.概述
2.等离子刻蚀基础
3.SiC的等离子刻蚀
4.等离子体化学
5.掩膜材料
6.近期发展及未来展望
7.小结
参考文献

第5章SiCMEMS的设计、性能和应用
1.概述
2.SiCMEMS器件
3.结论和展望
参考文献
附录
内容简介:
碳化硅以其优异的温度特性、电迁移特性、机械特性等，越来越被微电子和微机电系统研究领域所关注，不断有新的研究群体介入这一材料及其应用的研究。《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》是目前译者见到的唯一一本系统论述碳化硅微机电系统的著作，作者是来自英国、美国从事碳化硅微机电系统研究的几位学者，他们系统综述了碳化硅生长、加工、接触、腐蚀和应用等环节的技术和现状，汇聚了作者大量的经验和智慧。
《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》可供从事微电子、微机械研究的科研人员参考阅读，也可以作为研究生专业课程教材或参考书目。
目录:
译者序
前言
第1章SiCMEMS概述
1.简介
2.SiC材料性能
3.制作微机电（MEM）器件
4.表面改性
5.SiCMEMS的频率调谐
6.MEMS的机械测试
7.应用举例
8.小结
参考文献

第2章SiCMEMS沉积技术
1.概述
2.与SiC沉积相关的问题
3.APCVD
4.PE（2VD
5.LPCVD
6.LPCⅧSiC薄膜的掺杂
7.其他沉积方法
8.小结
参考文献

第3章与SiC接触开发相关的问题综述
1.概述
2.热稳定性
3.p型SiC的欧姆接触
4.使用Ni的欧姆接触
5.肖特基接触缺陷的影响
6.小结
参考文献

第4章SiC的干法刻蚀
1.概述
2.等离子刻蚀基础
3.SiC的等离子刻蚀
4.等离子体化学
5.掩膜材料
6.近期发展及未来展望
7.小结
参考文献

第5章SiCMEMS的设计、性能和应用
1.概述
2.SiCMEMS器件
3.结论和展望
参考文献
附录

查看详情

相关分类

工业技术矿业工程金属学与金属工艺机械、仪表工业能源与动力工程原子能技术电工技术电子与通信化学工业轻工业、手工业建筑水利工程汽车与交通运输航空/航天

用于恶劣环境的碳化硅微机电系统

九品

若凡书屋

广东省深圳市

平均发货9小时成功完成率94.97%

￥9.99

券

100减20

立即购买加入购物车
6

用于恶劣环境的碳化硅微机电系统

八五品

如意旧书店

陕西省西安市

平均发货8小时成功完成率97.74%

￥5.00

券

100减20

立即购买加入购物车不属于本条目
4

用于恶劣环境的碳化硅微机电系统

九五品

江宁书局

上海市闵行区

平均发货12小时成功完成率97.08%

￥19.80

券

100减20

立即购买加入购物车
用于恶劣环境的碳化硅微机电系统【正版书籍】【可开发票】【以标题为准，封面不一致，详情可咨询客服】

全新

琍璇书阁

湖南省长沙市

平均发货14小时成功完成率90.52%

￥43.80

券

100减20

立即购买加入购物车不属于本条目
用于恶劣环境的碳化硅微机电系统

九品

中国人书店

北京市海淀区

平均发货19小时成功完成率94.02%

￥10.00

券

100减20

立即购买加入购物车不属于本条目