纳米压印技术

作者: 孙洪文著

出版社: 电子工业出版社

出版时间: 2011-01

版次: 1

ISBN: 9787121121999

定价: 36.00

装帧: 平装

开本: 16开

纸张: 胶版纸

页数: 204页

字数: 245千字

分类: 工程技术

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本选题详细介绍了纳米压印及相关技术的工艺、原理、仿真、应用和展望。纳米压印技术是在纳米尺度获得复制结构的一种成本低而速度快的方法，它可以大批量重复性地在大面积上制备纳米图案结构，并且所制出的高分辨率图案具有相当好的均匀性和重复性。不仅可以供从事微电子、微纳加工、纳米技术的科技人员参考，也由于纳米压印技术应用的广泛性，亦可作为广大从事化学、生物、医学、光电子、磁学等领域的科研人员开拓研究思路的参考书。《纳米压印技术》深入浅出，通俗易懂，亦可作为科普读物。第1章绪论1.1微电子1.1.1光学光刻和极紫外光刻技术1.1.2电子束光刻技术1.1.3离子束光刻技术1.1.4X射线光刻技术1.2微机电系统1.2.1微机电系统简介1.2.2LIGA技术1.2.3准LIGA技术1.3微复制技术1.3.1微复制的意义1.3.2微复制工艺及其应用1.3.3基于聚合物的微系统1.4纳米技术1.5纳米压印技术1.5.1纳米压印技术的原理及特点1.5.2纳米压印技术的发展1.5.3纳米压印技术的应用1.6纳米压印技术研究现状1.6.1国外研究现状1.6.2国内研究现状1.6.3纳米压印技术专利分析第2章纳米压印工艺概述2.1纳米压印工艺2.1.1热压印2.1.2紫外压印2.1.3微接触印刷2.1.4常用纳米压印方法的比较2.2软刻蚀技术2.3纳米压印印章2.4压印聚合物第3章纳米压印印章制备的新方法3.1FIB制备纳米印章的新途径3.1.1聚焦离子束系统的工作原理和构成3.1.2聚焦离子束系统的应用3.1.3用聚焦离子束技术进行纳米压印印章的制备3.2全息曝光制备微纳米印章3.3纳米球光刻法加工印章3.4纳米压印方法制备纳米压印印章3.5纳米压印和光学光刻结合制备三维印章3.6旋涂法制备PDMS印章3.6.1旋涂法制备PDMS印章的原理和工艺流程3.6.2旋涂法制备PDMS印章的具体实例3.6.3旋涂法制备PDMS印章的实验结果3.7热压法大规模制备PDMS印章的新方法3.7.1热压法大规模制备PDMS印章的工艺路线3.7.2热压法大规模制备PDMS印章的实例3.7.3热压法大规模制备PDMS印章的实验结果与讨论3.8PDMS印章中的缺陷分析3.8.1空孔3.8.2裂纹第4章纳米压印结果分析4.1纳米压印印章抗粘连层的制备4.1.1干法抗黏4.1.2湿法抗黏4.1.3两种方法对比4.2微压印结果及分析4.2.1硅模具和镍模具制备4.2.2硅模具和镍模具微压印PMMA、PC4.2.3不同线宽和图形的合格率分析4.2.4线条镍模具的微米压印4.2.5对可压印材料PETG的研究4.3铝线条印章压印mr-I90204.3.1mr-I9020胶介绍4.3.2铝线条印章压印mr-I90204.3.3压印胶中的缺陷4.4正交法对纳米压印工艺的优化4.4.1正交法的意义与原理4.4.2热压印工艺中正交法的因子和水平4.4.3正交法对工艺的优化研究4.5石英模具室温压印Hybrane4.5.1Hybrane胶介绍4.5.2Hybrane胶的配置4.5.3石英印章压印Hybrane4.6复杂图案硅印章压印SU84.6.1硅印章制备4.6.2印章形貌4.6.3SU8胶的旋涂4.6.4硅印章压印SU84.7后续转移图案4.7.1残留胶厚度的计算4.7.2O2刻蚀速率计算4.7.3SF6刻蚀速率对比计算4.7.4双气体连续刻蚀法进行图案转移4.7.5单一气体刻蚀法进行图案转移第5章纳米压印的理论5.1聚合物流变机理5.2压印胶的流动行为5.3纳米压印填充时间的理论计算5.4有效压强的理论分析及提高印章寿命的新方法5.5纳米压印理论的最新研究进展第6章纳米压印仿真6.1印章抗粘连层材料的选择6.1.1分子动力学方法与原理6.1.2分子动力学方法选择印章抗粘连层物质6.2分子动力学对纳米压印工艺的仿真6.3纳米压印仿真的其他研究第7章纳米压印技术的应用7.1纳米压印技术在光学领域的应用7.1.1采用微纳米压印技术复制微纳光栅7.1.2纳米压印技术制备聚合物微环共振腔7.1.3纳米压印技术加工超材料7.1.4纳米压印技术加工偏光镜7.1.5纳米压印技术加工微镜7.2纳米压印技术在生物医学领域的应用7.2.1生物医学实验的意义7.2.2生物加工材料的选择7.2.3微纳米压印技术在蛋白质实验中的应用7.2.4微纳米结构对不同细胞生长的影响7.2.5纳米压印技术加工的硅纳米线阵列用于生物电子领域7.2.6纳米压印技术制备的微阵列在生物医学中的应用7.3纳米压印技术在电子学领域的应用7.4纳米压印技术在磁学领域的应用7.5纳米压印技术在微纳流体领域的应用7.6纳米压印技术在光电子领域的应用7.7纳米压印技术在其他领域的应用7.7.1纳米压印技术加工铁电原件7.7.2纳米压印技术加工探针第8章纳米压印技术的发展前景8.1纳米压印技术面临的挑战8.1.1纳米压印自身技术面临的挑战8.1.2纳米压印技术面临的其他技术的挑战8.2纳米压印技术的发展前景8.2.1纳米压印技术的创新技术8.2.2纳米压印技术的研究方向8.2.3纳米压印技术展望参考文献
内容简介:
本选题详细介绍了纳米压印及相关技术的工艺、原理、仿真、应用和展望。纳米压印技术是在纳米尺度获得复制结构的一种成本低而速度快的方法，它可以大批量重复性地在大面积上制备纳米图案结构，并且所制出的高分辨率图案具有相当好的均匀性和重复性。不仅可以供从事微电子、微纳加工、纳米技术的科技人员参考，也由于纳米压印技术应用的广泛性，亦可作为广大从事化学、生物、医学、光电子、磁学等领域的科研人员开拓研究思路的参考书。《纳米压印技术》深入浅出，通俗易懂，亦可作为科普读物。
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第1章绪论1.1微电子1.1.1光学光刻和极紫外光刻技术1.1.2电子束光刻技术1.1.3离子束光刻技术1.1.4X射线光刻技术1.2微机电系统1.2.1微机电系统简介1.2.2LIGA技术1.2.3准LIGA技术1.3微复制技术1.3.1微复制的意义1.3.2微复制工艺及其应用1.3.3基于聚合物的微系统1.4纳米技术1.5纳米压印技术1.5.1纳米压印技术的原理及特点1.5.2纳米压印技术的发展1.5.3纳米压印技术的应用1.6纳米压印技术研究现状1.6.1国外研究现状1.6.2国内研究现状1.6.3纳米压印技术专利分析第2章纳米压印工艺概述2.1纳米压印工艺2.1.1热压印2.1.2紫外压印2.1.3微接触印刷2.1.4常用纳米压印方法的比较2.2软刻蚀技术2.3纳米压印印章2.4压印聚合物第3章纳米压印印章制备的新方法3.1FIB制备纳米印章的新途径3.1.1聚焦离子束系统的工作原理和构成3.1.2聚焦离子束系统的应用3.1.3用聚焦离子束技术进行纳米压印印章的制备3.2全息曝光制备微纳米印章3.3纳米球光刻法加工印章3.4纳米压印方法制备纳米压印印章3.5纳米压印和光学光刻结合制备三维印章3.6旋涂法制备PDMS印章3.6.1旋涂法制备PDMS印章的原理和工艺流程3.6.2旋涂法制备PDMS印章的具体实例3.6.3旋涂法制备PDMS印章的实验结果3.7热压法大规模制备PDMS印章的新方法3.7.1热压法大规模制备PDMS印章的工艺路线3.7.2热压法大规模制备PDMS印章的实例3.7.3热压法大规模制备PDMS印章的实验结果与讨论3.8PDMS印章中的缺陷分析3.8.1空孔3.8.2裂纹第4章纳米压印结果分析4.1纳米压印印章抗粘连层的制备4.1.1干法抗黏4.1.2湿法抗黏4.1.3两种方法对比4.2微压印结果及分析4.2.1硅模具和镍模具制备4.2.2硅模具和镍模具微压印PMMA、PC4.2.3不同线宽和图形的合格率分析4.2.4线条镍模具的微米压印4.2.5对可压印材料PETG的研究4.3铝线条印章压印mr-I90204.3.1mr-I9020胶介绍4.3.2铝线条印章压印mr-I90204.3.3压印胶中的缺陷4.4正交法对纳米压印工艺的优化4.4.1正交法的意义与原理4.4.2热压印工艺中正交法的因子和水平4.4.3正交法对工艺的优化研究4.5石英模具室温压印Hybrane4.5.1Hybrane胶介绍4.5.2Hybrane胶的配置4.5.3石英印章压印Hybrane4.6复杂图案硅印章压印SU84.6.1硅印章制备4.6.2印章形貌4.6.3SU8胶的旋涂4.6.4硅印章压印SU84.7后续转移图案4.7.1残留胶厚度的计算4.7.2O2刻蚀速率计算4.7.3SF6刻蚀速率对比计算4.7.4双气体连续刻蚀法进行图案转移4.7.5单一气体刻蚀法进行图案转移第5章纳米压印的理论5.1聚合物流变机理5.2压印胶的流动行为5.3纳米压印填充时间的理论计算5.4有效压强的理论分析及提高印章寿命的新方法5.5纳米压印理论的最新研究进展第6章纳米压印仿真6.1印章抗粘连层材料的选择6.1.1分子动力学方法与原理6.1.2分子动力学方法选择印章抗粘连层物质6.2分子动力学对纳米压印工艺的仿真6.3纳米压印仿真的其他研究第7章纳米压印技术的应用7.1纳米压印技术在光学领域的应用7.1.1采用微纳米压印技术复制微纳光栅7.1.2纳米压印技术制备聚合物微环共振腔7.1.3纳米压印技术加工超材料7.1.4纳米压印技术加工偏光镜7.1.5纳米压印技术加工微镜7.2纳米压印技术在生物医学领域的应用7.2.1生物医学实验的意义7.2.2生物加工材料的选择7.2.3微纳米压印技术在蛋白质实验中的应用7.2.4微纳米结构对不同细胞生长的影响7.2.5纳米压印技术加工的硅纳米线阵列用于生物电子领域7.2.6纳米压印技术制备的微阵列在生物医学中的应用7.3纳米压印技术在电子学领域的应用7.4纳米压印技术在磁学领域的应用7.5纳米压印技术在微纳流体领域的应用7.6纳米压印技术在光电子领域的应用7.7纳米压印技术在其他领域的应用7.7.1纳米压印技术加工铁电原件7.7.2纳米压印技术加工探针第8章纳米压印技术的发展前景8.1纳米压印技术面临的挑战8.1.1纳米压印自身技术面临的挑战8.1.2纳米压印技术面临的其他技术的挑战8.2纳米压印技术的发展前景8.2.1纳米压印技术的创新技术8.2.2纳米压印技术的研究方向8.2.3纳米压印技术展望参考文献

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