未读消息消息

店铺

我的订单收藏

拍卖

拍卖交易我的竞拍收藏

我的好友资金账户

客服 |

帮助中心 9:00-20:30 在线留言

客服电话

010-89648155

服务时间

客服咨询 8:00-21:00

纠纷处理 9:00-21:00

图书审核 9:00-18:00

监督与建议

请选择

手机孔网

中国电子信息工程科技发展研究集成电路芯片制造工艺专题

中国电子信息工程科技发展研究集成电路芯片制造工艺专题

分享

作者: 中国信息与电子工程科技发展战略研究中心著

出版社: 科学出版社

出版时间: 2019-10

版次: 1

ISBN: 9787030623591

定价: 48.00

装帧: 平装

开本: 32开

页数: 76页

分类: 工程技术

7人买过

在集成电路产业中，芯片制造技术是产业链中的核心环节之一。《中国电子信息工程科技发展研究集成电路芯片制造工艺专题》尝试从芯片大生产制造的角度，介绍芯片制造关键单项工艺和工艺集成技术（与《中国电子信息工程科技发展研究：集成电路产业专题》衔接）。试图以产业发展主流工艺为导向，侧重原理和产业应用实际相结合，尽量避免冗长深奥的物理、化学公式和原理推导。定性地对芯片生产制造工艺中的关键单项工艺进行描述，并在介绍单项工艺后，解释具有复杂系统工程特点的工艺集成技术难点。重点介绍芯片制造工艺中存在的五个主要挑战和可能的解决途径。最后讨论芯片制造工艺产业链生态链的依赖关系。目录
《中国电子信息工程科技发展研究》编写说明
前言
第1章概述 1
第2章集成电路芯片制造工艺流程 3
第3章关键单项工艺介绍 7
3.1 光刻工艺 7
3.2 刻蚀工艺 10
3.3 薄膜制备工艺 14
3.4 外延工艺 19
3.5 扩散和离子注入工艺 20
3.6 氧化工艺 23
第4章工艺集成技术 26
第5章先进芯片制造工艺技术的主要挑战 38
第6章总结与致谢 70
参考文献 71
内容简介:
在集成电路产业中，芯片制造技术是产业链中的核心环节之一。《中国电子信息工程科技发展研究集成电路芯片制造工艺专题》尝试从芯片大生产制造的角度，介绍芯片制造关键单项工艺和工艺集成技术（与《中国电子信息工程科技发展研究：集成电路产业专题》衔接）。试图以产业发展主流工艺为导向，侧重原理和产业应用实际相结合，尽量避免冗长深奥的物理、化学公式和原理推导。定性地对芯片生产制造工艺中的关键单项工艺进行描述，并在介绍单项工艺后，解释具有复杂系统工程特点的工艺集成技术难点。重点介绍芯片制造工艺中存在的五个主要挑战和可能的解决途径。最后讨论芯片制造工艺产业链生态链的依赖关系。
目录:
目录
《中国电子信息工程科技发展研究》编写说明
前言
第1章概述 1
第2章集成电路芯片制造工艺流程 3
第3章关键单项工艺介绍 7
3.1 光刻工艺 7
3.2 刻蚀工艺 10
3.3 薄膜制备工艺 14
3.4 外延工艺 19
3.5 扩散和离子注入工艺 20
3.6 氧化工艺 23
第4章工艺集成技术 26
第5章先进芯片制造工艺技术的主要挑战 38
第6章总结与致谢 70
参考文献 71

查看详情

相关分类

工业技术矿业工程金属学与金属工艺机械、仪表工业能源与动力工程原子能技术电工技术电子与通信化学工业轻工业、手工业建筑水利工程

中国电子信息工程科技发展研究集成电路芯片制造工艺专题【正版图书可开发票】【支持7天无理由退回】{以标题为准，详情可咨询客服}

全新

赏乐阅书社

湖南省长沙市

平均发货11小时成功完成率92.59%

￥34.00

券

100减20

立即购买加入购物车
中国电子信息工程科技发展研究集成电路芯片制造工艺专题【正版有货可开发票；库存情况请咨询，及标题与图片不一致时】

全新

心流图书

广东省广州市

平均发货8小时成功完成率88.99%

￥36.00

券

100减20

立即购买加入购物车
正版现货正版纳米集成电路制造工艺第2版第二版张汝京清华大学出版社集成电路检测与分析技术集成电路生产工艺集成电路制造流程全新正版假一罚十极速发货可开票

全新

图虫图书的书店

北京市西城区

平均发货32小时成功完成率53.33%

￥51.64

券

100减20

立即购买加入购物车
正版纳米集成电路制造工艺第2版第二版张汝京清华大学出版社集成电路检测与分析技术集成电路生产工艺集成电路制造流程全新正版假一罚十极速发货可开票支持7天无理由退货

全新

慧成学苑

北京市东城区

平均发货16小时成功完成率81.72%

￥51.74

券

100减20

立即购买加入购物车
正版现货正版纳米集成电路制造工艺第2版第二版张汝京清华大学出版社集成电路检测与分析技术集成电路生产工艺集成电路制造流程 9787030623591

全新

万卷的书店

北京市东城区

平均发货19小时成功完成率88.6%

￥52.16

券

100减20

立即购买加入购物车
正版纳米集成电路制造工艺第2版第二版张汝京清华大学出版社集成电路检测与分析技术集成电路生产工艺集成电路制造流程

全新

鑫务的书店761

山东省淄博市

平均发货36小时成功完成率86.95%

￥52.26

券

100减20

立即购买加入购物车
中国电子信息工程科技发展研究集成电路芯片制造工艺专题全新正版未拆封

全新

A小二郎书舍A

湖南省长沙市

平均发货36小时成功完成率83.68%

￥55.76

券

100减20

立即购买加入购物车
中国电子信息工程科技发展研究集成电路芯片制造工艺专题全新正版未拆封

全新

天吾之青豆的书店

山东省济宁市

平均发货63小时成功完成率80.6%

￥55.76

券

100减20

立即购买加入购物车
【原版闪电发货】纳米集成电路制造工艺第2版第二版张汝京清华大学出版社集成电路检测与分析技术集成电路生产工艺集成电路制造流程 9787030623591

全新

书香书城

江苏省南京市

平均发货39小时成功完成率80.77%

￥55.78

券

100减20

立即购买加入购物车
中国电子信息工程科技发展研究集成电路芯片制造工艺专题重要提醒：：：重要提醒：：所有图书保证正版，按书名发货图片仅供参考, 有疑问请咨询客服，看清书名按书名发货

全新

悦然书店

北京市通州区

平均发货10小时成功完成率90.55%

￥62.60

券

100减20

立即购买加入购物车
全新正版图书中国电子信息工程科技发展研究集成电路芯片制造工艺专题中国信息与电子工程科技发展战略科学出版社9787030623591 黎明书店正版图书保证质量七天无理由退货让您购物无忧

全新

黎明书店

北京市丰台区

平均发货7小时成功完成率91.32%

￥62.87

券

100减20

立即购买加入购物车
中国电子信息工程科技发展研究集成电路芯片制造工艺专题正版保障假一赔十可开发票

全新

灵感书店

上海市黄浦区

平均发货10小时成功完成率94.42%

￥63.56

券

100减20

立即购买加入购物车
中国电子信息工程科技发展研究集成电路芯片制造工艺专题全新正版图书，支持七天退换，可开具电子发票。

全新

轩天书店

河北省保定市

平均发货10小时成功完成率92.86%

￥64.15

券

100减20

立即购买加入购物车
中国电子信息工程科技发展研究集成电路芯片制造工艺专题正版新书开电子发票

全新

安轩图书专营店

山东省泰安市

平均发货15小时成功完成率93.84%

￥64.20

券

100减20

立即购买加入购物车
中国电子信息工程科技发展研究集成电路芯片制造工艺专题中国信息与电子工程科技发展战略研究中心[编著]9787030623591科学出版社全新正版书籍，假一罚四，可开发票。24小时内发货。

全新

易安居书舍

山东省泰安市

平均发货10小时成功完成率90.89%

￥64.70

券

100减20

立即购买加入购物车
中国电子信息工程科技发展研究集成电路芯片制造工艺专题正版图书，可开发票，请放心购买。

全新

哲仁书店

广东省广州市

平均发货9小时成功完成率86.11%

￥67.72

券

100减20

立即购买加入购物车
中国电子信息工程科技发展研究集成电路芯片制造工艺专题全新正版现货

全新

天涯淘书阁

四川省成都市

平均发货22小时成功完成率89.06%

￥71.50

券

100减20

立即购买加入购物车
中国电子信息工程科技发展研究集成电路芯片制造工艺专题正版图书保证质量七天无理由退货让您购物无忧

全新

阿莱书屋

北京市朝阳区

平均发货17小时成功完成率83.1%

￥74.25

券

100减20

立即购买加入购物车
中国电子信息工程科技发展研究集成电路芯片制造工艺专题正版图书保证质量七天无理由退货让您购物无忧

全新

陶情逸轩

北京市朝阳区

平均发货13小时成功完成率84.33%

￥74.25

券

100减20

立即购买加入购物车
中国电子信息工程科技发展研究集成电路芯片制造工艺专题全新正版图书

全新

兴文书店

广东省广州市

平均发货18小时成功完成率86.69%

￥75.08

券

100减20

立即购买加入购物车
中国电子信息工程科技发展研究(集成电路芯片制造工艺专题)

全新

江苏图书专营店

江苏省无锡市

平均发货14小时成功完成率86.55%

￥77.22

券

100减20

立即购买加入购物车
中国电子信息工程科技发展研究(集成电路芯片制造工艺专题) 全新正版全新未开封新华集团直接发

全新

江苏读客文化

江苏省南京市

平均发货14小时成功完成率83.22%

￥77.22

券

100减20

立即购买加入购物车
中国电子信息工程科技发展研究(集成电路芯片制造工艺专题) 全新正版全新未开封新华集团直接发

全新

江苏尚书坊

江苏省南京市

平均发货8小时成功完成率73.08%

￥77.22

券

100减20

立即购买加入购物车
中国电子信息工程科技发展研究集成电路芯片制造工艺专题科学出版社信息传播 9787030623591新华正版

全新

涵鸣娜子

山东省威海市

平均发货14小时成功完成率91.03%

￥78.47

券

100减20

立即购买加入购物车
中国电子信息工程科技发展研究集成电路芯片制造工艺专题新华书店全新正版书籍。书名与图片不一致的，以书名为准。个别套装书为单本价格，详情请咨询客服下单。

全新

沧狮书城

浙江省杭州市

平均发货12小时成功完成率75%

￥79.20

券

100减20

立即购买加入购物车
中国电子信息工程科技发展研究集成电路芯片制造工艺专题 9787030623591

全新

井大书店

江西省吉安市

平均发货54小时成功完成率87.5%

￥93.16

券

100减20

立即购买加入购物车
中国电子信息工程科技发展研究集成电路芯片制造工艺专题全新正版按需印刷

全新

品雅轩文斋

北京市通州区

平均发货36小时成功完成率77.98%

￥99.00

券

100减20

立即购买加入购物车
中国电子信息工程科技发展研究集成电路芯片制造工艺专题全新正版按需印刷

全新

博文苑

北京市通州区

平均发货28小时成功完成率84.26%

￥99.00

券

100减20

立即购买加入购物车
中国电子信息工程科技发展研究集成电路芯片制造工艺专题按需印刷

全新

藏典阁书店

北京市通州区

平均发货32小时成功完成率79.55%

￥99.00

券

100减20

立即购买加入购物车
中国电子信息工程科技发展研究集成电路芯片制造工艺专题预售按需印刷版次更新不同步以实际收到书为准

全新

专利文献资料汇编

北京市通州区

平均发货29小时成功完成率82.46%

￥99.00

券

100减20

立即购买加入购物车