射频等离子体物理学

射频等离子体物理学

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作者: [法] 帕斯卡·夏伯特著 , [英] 尼古拉斯·布雷斯韦特著 , 王友年译 , 徐军译 , 宋远红译

出版社: 科学出版社

出版时间: 2015-10

版次: 1

ISBN: 9787030459190

定价: 128.00

装帧: 平装

开本: 16开

纸张: 胶版纸

页数: 321页

字数: 404千字

正文语种: 简体中文

丛书: 现代应用物理学丛书

分类: 自然科学

　　从微电子工业到航天器推进系统乃至高效光源，低温射频等离子体在各种前沿技术中扮演着重要的角色，而且它是物理学、化学及工程学之间相互交叉的一个学科。《射频等离子体物理学》主要聚焦在物理学方面，所以主要适用于应用物理及电子工程专业的研究生及科研人员。
　　《射频等离子体物理学》不仅对射频等离子体的前沿进展进行综述，同时也包括一些等离子体物理基础知识，如有界等离子体的输运及电学诊断。《射频等离子体物理学》的风格有助于激发读者学习的兴趣，帮助读者建立物理图像和数学分析方法。通过实例分析，将理论应用到实际问题中，并留有超过100道的简答题，让读者能够快速掌握新知识，有信心解决与实验相关的物理问题。第1章概论
1．1 等离子体
1．2 微电子学中的等离子体工艺
1．3 等离子体推进
1．4 射频等离子体：E-H和w模式
1．5 内容简介

第2章等离子体动力学与平衡
2．1 微观描述
2．2 宏观描述
2．3 整体粒子和能量平衡
2．4 电动力学描述
2．5 本章总结

第3章有界等离子体
3．1 空间电荷鞘层区
3．2 等离子体／鞘层过渡
3．3 等离子体区：输运模型
3．4 本章总结

第4章射频鞘层
4．1 响应时间
4．2 离子动力学
4．3 电子动力学
4．4 （高频）RF鞘层的解析模型
4．5 重要结果归纳

第5章单频容性耦合等离子体
5．1 恒定离子密度下电流驱动的对称模型
5．2 非均匀离子密度的电流驱动模型
5．3 整体模型
5．4 其他放电参数范围及放电位形
5．5 重要结果归纳

第6章多频容性耦合等离子体
6．1 静电近似下的双频CCP
6．2 高频情况下的电磁模式
6．3 重要结果归纳

第7章感性耦合等离子体
7．1 电磁模型
7．2 等离子体自身的阻抗
7．3 变压器模型
7．4 纯感性放电的功率转换效率
7．5 容性耦合
7．6 整体模型
7．7 重要结果归纳
7．8 进一步考虑

第8章螺旋波等离子体
8．1 在无界等离子体中的平行传播
8．2 柱状等离子体中传播的螺旋波
8．3 螺旋波模式存在的条件
8．4 波功率的吸收：加热
8．5 E-H-w模式转换
8．6 重要结果归纳

第9章真实等离子体
9．1 高密度等离子体
9．2 磁化等离子体
9．3 电负性等离子体
9．4 扩展等离子体

第10章电测量
10．1 静电探针
10．2 用于射频等离子体的静电探针
10．3 减速场分析器
10．4 共振及波诊断
10．5 重要结果归纳

附录：习题解
参考文献
内容简介:
　　从微电子工业到航天器推进系统乃至高效光源，低温射频等离子体在各种前沿技术中扮演着重要的角色，而且它是物理学、化学及工程学之间相互交叉的一个学科。《射频等离子体物理学》主要聚焦在物理学方面，所以主要适用于应用物理及电子工程专业的研究生及科研人员。
　　《射频等离子体物理学》不仅对射频等离子体的前沿进展进行综述，同时也包括一些等离子体物理基础知识，如有界等离子体的输运及电学诊断。《射频等离子体物理学》的风格有助于激发读者学习的兴趣，帮助读者建立物理图像和数学分析方法。通过实例分析，将理论应用到实际问题中，并留有超过100道的简答题，让读者能够快速掌握新知识，有信心解决与实验相关的物理问题。
目录:
第1章概论
1．1 等离子体
1．2 微电子学中的等离子体工艺
1．3 等离子体推进
1．4 射频等离子体：E-H和w模式
1．5 内容简介

第2章等离子体动力学与平衡
2．1 微观描述
2．2 宏观描述
2．3 整体粒子和能量平衡
2．4 电动力学描述
2．5 本章总结

第3章有界等离子体
3．1 空间电荷鞘层区
3．2 等离子体／鞘层过渡
3．3 等离子体区：输运模型
3．4 本章总结

第4章射频鞘层
4．1 响应时间
4．2 离子动力学
4．3 电子动力学
4．4 （高频）RF鞘层的解析模型
4．5 重要结果归纳

第5章单频容性耦合等离子体
5．1 恒定离子密度下电流驱动的对称模型
5．2 非均匀离子密度的电流驱动模型
5．3 整体模型
5．4 其他放电参数范围及放电位形
5．5 重要结果归纳

第6章多频容性耦合等离子体
6．1 静电近似下的双频CCP
6．2 高频情况下的电磁模式
6．3 重要结果归纳

第7章感性耦合等离子体
7．1 电磁模型
7．2 等离子体自身的阻抗
7．3 变压器模型
7．4 纯感性放电的功率转换效率
7．5 容性耦合
7．6 整体模型
7．7 重要结果归纳
7．8 进一步考虑

第8章螺旋波等离子体
8．1 在无界等离子体中的平行传播
8．2 柱状等离子体中传播的螺旋波
8．3 螺旋波模式存在的条件
8．4 波功率的吸收：加热
8．5 E-H-w模式转换
8．6 重要结果归纳

第9章真实等离子体
9．1 高密度等离子体
9．2 磁化等离子体
9．3 电负性等离子体
9．4 扩展等离子体

第10章电测量
10．1 静电探针
10．2 用于射频等离子体的静电探针
10．3 减速场分析器
10．4 共振及波诊断
10．5 重要结果归纳

附录：习题解
参考文献

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