表面科学与薄膜技术基础

表面科学与薄膜技术基础

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作者: 张永平著

出版社: 科学出版社

出版时间: 2022-10

版次: 1

ISBN: 9787030731289

装帧: 平装

开本: 16开

纸张: 胶版纸

页数: 184页

正文语种: 简体中文

分类: 工程技术

现代半导体技术和先进材料研发的进步，促进薄膜材料和制备技术快速发展，要求薄膜制备技术和薄膜结构有精细控制，需要了解表面与薄膜方面的基本物理知识。《表面科学与薄膜技术基础》着重介绍表面与薄膜相关的基本概念、基本原理，帮助理解掌握薄膜技术的基本知识，为工作和科研打下良好基础。《表面科学与薄膜技术基础》内容包括真空物理基础、表面科学基础、薄膜物理基础、薄膜生长技术、薄膜结构、表面和薄膜分析技术，以及几种常见的薄膜材料。目录

前言

第1章真空物理基础 1

1.1 真空基础知识 1

1.2 气体动力学理论 3

1.3 真空获得 10

1.4 真空测量 19

1.5 真空系统 25

1.6 本章小结 26

习题 27

参考文献 28

第2章表面科学基础 29

2.1 表面和体材料 29

2.2 表面重构 33

2.3 表面结构缺陷 37

2.4 表面张力和表面能 40

2.5 表面吸附 43

2.6 表面电子结构 49

2.7 本章小结 52

习题 52

参考文献 52

第3章薄膜物理基础 53

3.1 薄膜生长模式 53

3.2 形核的热力学模型 55

3.3 形核和生长的动力学过程 61

3.4 团簇的聚结与耗尽 62

3.5 形核与生长的实验研究 65

3.6 本章小结 68

习题 69

参考文献 69

第4章热蒸发沉积 70

4.1 蒸发的物理化学特性 70

4.2 薄膜厚度均匀性和纯度 76

4.3 热蒸发硬件 82

4.4 热蒸发技术的应用 85

4.5 本章小结 87

习题 88

参考文献 88

第5章溅射镀膜 89

5.1 等离子体和汤森放电 90

5.2 等离子体中的反应 94

5.3 溅射物理 98

5.4 溅射沉积薄膜过程 103

5.5 本章小结 108

习题 108

参考文献 108

第6章化学气相沉积 109

6.1 反应类型 110

6.2 CVD热力学 113

6.3 气体输运 114

6.4 热CVD工艺 118

6.5 等离子体CVD工艺 120

6.6 激光CVD工艺 122

6.7 金属有机CVD工艺 123

6.8 本章小结 124

习题 124

参考文献 125

第7章薄膜结构 126

7.1 薄膜结构演化 126

7.2 热蒸发沉积薄膜结构和形貌 129

7.3 溅射镀膜薄膜结构和形貌 133

7.4 CVD薄膜结构和形貌 136

7.5 本章小结 137

习题 138

参考文献 138

第8章现代表面分析技术 139

8.1 X射线光电子能谱 139

8.2 紫外光电子能谱 149

8.3 X射线衍射和低能电子衍射 152

8.4 扫描隧道显微镜和原子力显微镜 156

8.5 振动谱 159

8.6 本章小结 164

习题 164

参考文献 165

第9章薄膜材料 166

9.1 金刚石薄膜 166

9.2 超硬薄膜 173

9.3 半导体薄膜 178

9.4 磁性存储薄膜 181

习题 184

参考文献 184
内容简介:
现代半导体技术和先进材料研发的进步，促进薄膜材料和制备技术快速发展，要求薄膜制备技术和薄膜结构有精细控制，需要了解表面与薄膜方面的基本物理知识。《表面科学与薄膜技术基础》着重介绍表面与薄膜相关的基本概念、基本原理，帮助理解掌握薄膜技术的基本知识，为工作和科研打下良好基础。《表面科学与薄膜技术基础》内容包括真空物理基础、表面科学基础、薄膜物理基础、薄膜生长技术、薄膜结构、表面和薄膜分析技术，以及几种常见的薄膜材料。
目录:
目录

前言

第1章真空物理基础 1

1.1 真空基础知识 1

1.2 气体动力学理论 3

1.3 真空获得 10

1.4 真空测量 19

1.5 真空系统 25

1.6 本章小结 26

习题 27

参考文献 28

第2章表面科学基础 29

2.1 表面和体材料 29

2.2 表面重构 33

2.3 表面结构缺陷 37

2.4 表面张力和表面能 40

2.5 表面吸附 43

2.6 表面电子结构 49

2.7 本章小结 52

习题 52

参考文献 52

第3章薄膜物理基础 53

3.1 薄膜生长模式 53

3.2 形核的热力学模型 55

3.3 形核和生长的动力学过程 61

3.4 团簇的聚结与耗尽 62

3.5 形核与生长的实验研究 65

3.6 本章小结 68

习题 69

参考文献 69

第4章热蒸发沉积 70

4.1 蒸发的物理化学特性 70

4.2 薄膜厚度均匀性和纯度 76

4.3 热蒸发硬件 82

4.4 热蒸发技术的应用 85

4.5 本章小结 87

习题 88

参考文献 88

第5章溅射镀膜 89

5.1 等离子体和汤森放电 90

5.2 等离子体中的反应 94

5.3 溅射物理 98

5.4 溅射沉积薄膜过程 103

5.5 本章小结 108

习题 108

参考文献 108

第6章化学气相沉积 109

6.1 反应类型 110

6.2 CVD热力学 113

6.3 气体输运 114

6.4 热CVD工艺 118

6.5 等离子体CVD工艺 120

6.6 激光CVD工艺 122

6.7 金属有机CVD工艺 123

6.8 本章小结 124

习题 124

参考文献 125

第7章薄膜结构 126

7.1 薄膜结构演化 126

7.2 热蒸发沉积薄膜结构和形貌 129

7.3 溅射镀膜薄膜结构和形貌 133

7.4 CVD薄膜结构和形貌 136

7.5 本章小结 137

习题 138

参考文献 138

第8章现代表面分析技术 139

8.1 X射线光电子能谱 139

8.2 紫外光电子能谱 149

8.3 X射线衍射和低能电子衍射 152

8.4 扫描隧道显微镜和原子力显微镜 156

8.5 振动谱 159

8.6 本章小结 164

习题 164

参考文献 165

第9章薄膜材料 166

9.1 金刚石薄膜 166

9.2 超硬薄膜 173

9.3 半导体薄膜 178

9.4 磁性存储薄膜 181

习题 184

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